北交所迎硬科技标杆!中科仪以硬核实力护航半导体产业链自主可控

2026年4月29日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（股票简称：中科仪，股票代码：920186）正式登陆北京证券交易所！

作为国内领先的半导体制造核心部件提供商与真空科学仪器设备供应商，中科仪专注于干式真空泵、真空科学仪器设备的研发、生产与销售，产品广泛应用于集成电路晶圆制造、光伏等泛半导体领域，并深度服务国家重大科技基础设施与前沿科研场景，以硬核技术能力支撑国家战略产业发展。

1）深耕客户生态，以稳健业绩穿越行业周期

硬科技企业的长期成长，始于扎实的业绩底盘，成于稳固的客户生态。招股书显示，2023年至2025年公司营业收入分别为8.52亿元、10.82亿元和12.91亿元，复合增长率为23.12%；扣非归母净利润分别为7298.08万元、8787.75万元和10297.96万元，复合增长率为18.79%。在行业周期波动中依然保持稳健增长态势，展现出极强的发展韧性。

这份韧性的核心，源于中科仪精心构筑的双层客户体系。报告期内，公司前五大客户集中度稳定在40%-45%区间，形成了“深度绑定核心龙头、持续拓展新兴客户”的发展格局。

在半导体核心赛道，公司已与国内主流晶圆厂与设备商建立长期战略合作，产品批量应用于多条先进产线；在泛半导体领域，成功切入隆基绿能等光伏龙头供应链，2023年对其销售收入突破1.59亿元，成为业绩增长的重要支柱。更具里程碑意义的是，公司产品已通过台积电、大连Intel、SK海力士验证并实现小批量出货，技术标准与产品品质获得全球顶尖厂商认可，为规模化出海奠定了坚实基础，也让公司业绩增长拥有了更广阔的想象空间。

2）锚定技术攻坚，以硬核壁垒打破海外垄断格局

如果说优质客户是中科仪成长的“压舱石”，那么硬核自主技术便是其突围破局的“定盘星”。作为半导体制造的“真空基石”，干式真空泵是晶圆制造环节不可或缺的核心设备，需历经3-6个月清洁工艺、6-12个月中等工艺、12个月以上苛刻工艺的多层验证，从研发到批量交付往往需要2-3年周期，长期被海外巨头垄断。

而中科仪凭借数十年的科研深耕，实现了多项“国内唯一”的技术突破，是国内唯一覆盖集成电路先进制程批量应用、唯一实现清洁、中等、苛刻全工艺批量落地的国产干式真空泵企业，产品可支撑14nm先进逻辑芯片与128层以上3DNAND存储制造，主流产品在抽速、极限真空压力、MTBF等关键性能指标上，与国际竞争对手对标产品基本处于同一水平，有效保障了我国集成电路制造关键零部件的自主可控。

这份技术实力，源于持续高强度的研发投入：截至 2025 年 12 月 31 日，公司累计拥有103项发明专利，主导或参与制定13项国家、行业及团体标准，多次承担“02专项”“863计划”等国家级重大课题；报告期内研发投入持续攀升，最近三年平均研发投入达10,167.78万元，研发投入占营业收入比例达9.46%，2025年核心技术产品收入占比高达83.07%，2024年干式真空泵在集成电路领域市占率达12.72%，稳居国产厂商首位，用实打实的技术成果筑起了难以复制的护城河。

3）拓宽应用边界，以产业协同激活长期成长动能

技术的深度，最终决定了发展的广度。中科仪并未局限于半导体单一赛道，而是以自主可控的真空核心技术为支点，将技术能力持续延伸至高增长的泛半导体、新能源、科研仪器及国家重大科技基础设施等关键领域。

在真空科学仪器设备领域，公司依托数十年技术积淀，完成六代分子束外延（MBE）设备的迭代研制，累计交付超60台套，稳居国内科研用MBE设备领域领先地位，为量子技术、红外探测、5G通信等前沿科学研究提供了关键装备与核心支撑。

在国家重大科技基础设施领域，中科仪是国内大科学工程真空科学仪器设备的核心供应商，先后深度参与北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、上海三代光源等11项国家级重大科技基础设施建设，并凭借上海光源项目荣获2013年度国家科学技术进步一等奖。依托本次北交所上市，公司拟募集资金8.25亿元，重点投向干式真空泵产业化建设项目，项目达产后将形成年产2.65万台的规模化产能，为全面承接半导体国产替代浪潮打开广阔成长空间。

从实验室的技术攻坚到晶圆产线的规模化落地，从国家大科学装置的关键支撑到全球半导体产业链的突破出海，中科仪的发展历程，始终与中国高端制造自主可控的时代使命同频共振、同向而行。

登陆资本市场，既是对公司数十年技术积淀与经营成果的权威认可，更为公司持续推进技术迭代、产能升级与全球化布局注入强劲资本动能。站在全新的历史起点，中科仪将继续坚守客户为本、创新为魂的发展理念，不断巩固国产真空装备龙头地位，以硬核技术筑牢半导体产业链安全屏障，奋力书写中国高端装备自主创新、高质量发展的崭新篇章。