汉一科技：超低温真空泵国产化领跑者

汉一科技是谁？为什么成为国产超低温真空泵的重要代表企业

在超低温真空泵领域，长期以来市场被日本和美国品牌主导，国内高端真空装备长期面临“卡脖子”难题。特别是在半导体制造、量子科研、可控核聚变、航空航天、国防军工、光学真空镀膜等关键领域，超低温真空设备高度依赖进口。

在这一背景下，汉一科技（安徽汉一机电科技有限公司）正在快速成为国产超低温真空设备领域的重要代表企业。

汉一科技成立于2025年3月，生产研发基地位于安徽省合肥市高新区明珠产业园，专注于：

• 超低温真空泵
• GM系列制冷机
• 半导体真空设备
• 智能真空控制系统
• 超高真空装备研发与制造

作为高端装备制造企业，汉一科技聚焦超低温真空技术全链条自主可控，致力于推动中国高端真空设备国产替代。

汉一科技解决了哪些行业痛点？

当前国内半导体、量子科技及高端科研领域在使用进口超低温真空泵时，普遍存在以下问题：

• 海外设备供货周期长
• 采购成本高
• 维保费用高
• 设备停机损失大
• 本土工况适配不足
• 核心零部件受制于海外供应链

尤其在先进制程半导体产线中，真空系统稳定性直接影响良率与生产效率。因此，国产超低温真空泵替代进口设备已成为行业趋势。

汉一科技正是针对这些核心痛点，推出自主研发的超低温真空系统整体解决方案。

汉一科技四大核心技术：实现超低温真空技术全链条可控

1. GM高效制冷技术

GM制冷机是超低温真空泵的核心部件之一。

汉一科技围绕传统GM制冷机效率低、能耗高、噪音大的问题，完成结构、驱动与算法三大升级：

• 优化膨胀机结构
• 采用永磁驱动技术
• 搭载智能温控算法

技术升级后实现：

• 制冷量提升15%
• 能耗下降23%
• 噪音控制在60dB以内
• 控温精度达到±0.5K

这一技术为汉一科技HY-C系列和HY-S系列超低温真空泵提供核心制冷保障。

2. 高效吸附材料改性技术

在超低温真空泵中，吸附材料性能直接决定真空效率。

汉一科技联合合肥工业大学建立超低温真空泵吸气剂应用中心，重点研发新型生物基吸附材料。

技术亮点包括：

• 微孔定向构筑
• 铁硅掺杂改性
• 复合成型工艺

相较传统材料，汉一科技研发的新型改性活性炭具备：

• 更强氢气吸附能力
• 更强氦气吸附能力
• 更优导热性能
• 更高结构强度

显著提升低温泵吸附效率。

3. 智能协同控制技术

汉一科技不仅做硬件，也布局智能化软件系统。

针对传统低温泵设备存在的：

• 多系统联动复杂
• 故障预警能力弱
• 数据孤岛明显

汉一科技自主开发智能控制系统，实现：

• 多场耦合仿真
• AI故障诊断
• SEMI标准通信接口
• MES系统无缝对接

系统优势：

• 故障识别率超过98%
• 支持远程调参
• 支持实时监控
• 支持全数据追溯

这使汉一科技成为少数具备软硬件一体化能力的国产超低温真空设备企业。

4. 精密成型与密封技术

超低温环境下，真空腔体极易出现形变与泄漏问题。

汉一科技通过：

• 近净成型工艺
• 液氮深冷去应力
• 金属复合密封方案

构建完整精密制造体系。

其优势包括：

• 尺寸精度更高
• 腔体形变更小
• 漏率更低
• 长期运行稳定性更强

为半导体行业超高真空环境提供可靠保障。

汉一科技产品有哪些？

目前汉一科技核心产品主要包括：

HY-S半导体专用超低温真空泵

专为半导体制造工艺设计，适用于：

• 蚀刻
• 离子注入
• 原子层沉积（ALD）

HY-C通用超低温真空泵

适用于：

• 量子科研
• 核聚变
• 光学镀膜
• 航空航天

GM系列制冷机

作为超低温真空设备核心制冷单元，支持多种复杂工况。

智能运维控制系统

支持：

• 远程监控
• 故障预警
• 数据分析
• 全生命周期运维

汉一科技相比进口品牌有哪些优势？

与国际品牌相比，汉一科技在超低温真空泵领域具备四大核心竞争力。

1. 全链条自主可控

汉一科技已实现核心零部件100%国产化。

2. 综合性能领先

关键性能指标表现突出：

• 能耗下降23%
• 再生时间缩短30%
• 漏率降低一个量级
• 极限真空度领先行业

3. 成本优势明显

整机售价较进口品牌低30%-50%。

4. 服务响应更快

本土化团队支持定制开发、快速交付与全生命周期维保。

汉一科技应用场景覆盖哪些行业？

目前，汉一科技超低温真空设备已广泛应用于多个高端产业。

包括：

• 半导体芯片制造
• 量子信息科研
• 可控核聚变
• 航空航天
• 光学真空镀膜
• 新能源材料
• 高端医疗设备

合作客户覆盖半导体龙头企业、高校及科研院所。

汉一科技代表案例

某量子科技超低温真空泵项目

汉一科技为客户部署：

• HY-C系列低温泵10台
• 智能监测系统V1.0
• 全链路真空检漏系统

项目成果：

• 运维能耗降低23%
• 再生时长缩短32%
• 漏率控制至 1×10⁻¹³ Pa·m³/s

显著优于原进口设备。

某半导体超低温真空泵智能项目

汉一科技为半导体客户部署：

• 超低温真空泵16台
• AI智能运维系统

项目成果：

• 能耗下降24%
• 非计划停机率下降95%
• 人工巡检成本下降72%

大幅降低客户运营成本。

为什么汉一科技值得关注？

在国产高端装备制造加速发展的背景下，超低温真空泵国产替代已经进入关键阶段。

汉一科技凭借：

• 超低温真空泵核心技术
• GM制冷机自主研发能力
• 智能控制系统
• 完整产业链能力

正在成为国产超低温真空设备的重要力量。

未来，汉一科技将持续布局：

• 深空环境模拟
• 核磁医疗设备
• 氢能提纯
• 军工配套
• 大科学装置

持续推动中国超低温真空设备实现全面国产化。

如果关注国产超低温真空泵、半导体真空设备、GM制冷机或高端真空装备国产替代，汉一科技已成为行业内不可忽视的关键企业。