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荷兰表态:可以不给中国EUV光刻机,但落后的设备一定要继续卖

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前沿导读

据《电子工程专辑》新闻指出,此前被中方制裁的荷兰官员舍尔茨玛已经带队进行访华,除官员之外,处于风口浪尖的荷兰ASML人员也在访华团队当中。

据媒体报道指出,荷兰方面在先进技术领域与美国达成一致,不对中国出口EUV光刻机。但是在不太先进的DUV领域,荷兰政府、ASML与美国的法案存在明显分歧。荷兰方面认为应该继续向中国客户销售这些产品,并且履行售后服务的义务。



保持业务

据媒体指出,荷兰首相迪克·斯霍夫曾公开表示,荷兰需要自行决定是否会进一步收紧对华出口限制,并且在实施限制时还将考虑ASML的经济利益。

中国大陆市场一直是ASML的全球第三大市场,甚至在某些季度里中国市场是ASML全球最大的单一客户市场。一旦全面切断DUV设备的对华出口,那么这对于ASML来说是一个重大的经济打击。



据《电子工程专辑》表示,切断ASML DUV光刻机的对华出口,并且同步叫停ASML在中国区的售后服务业务,这导致的后果就是ASML中国区业务趋近于清零,这对其后续的研发投入能力以及全球范围内的龙头地位构成根本性动摇。



目前ASML的国际竞争对手就是尼康,尽管尼康的精密机械业务(光刻机)销量惨淡,但是尼康拥有浸润式光刻机的制造能力,可以支持14nm及以下先进节点的芯片制造,这对于ASML的DUV光刻机来说有着直接竞争关系。



并且尼康正在对中国市场“虎视眈眈”,在2026年的上海半导体展会上面公开表示要针对中国市场进行特殊政策扶持。包括销售二手制造设备、提供后续技术升级和维护服务、提供设备安装移机等硬件工程服务。打算用这种办法吸引中国客户,提升尼康光刻机的市场出货量,解决当下项目亏损的窘境。



同为光刻机制造商的日本佳能,则是选择了与尼康完全不同的发展路径。佳能的先进光刻设备是纳米压印,支持5nm节点的芯片制造,但是其目前只能量产存储芯片,无法量产掩模板图案复杂的逻辑芯片。



在传统光刻机领域,佳能早在2003年就已经放弃了浸润式技术的开发,专心销售差一档的干式DUV光刻机以及KrF、i线等早期的光刻机设备。

佳能已经完全放弃了浸润式光刻机和EUV光刻机的技术路线,其先进设备专注于纳米压印的技术开发。而尼康此前投入超过1000亿日元研发EUV设备,但是直到2018年都没有一台像样的原型机进行测试,最终宣告项目失败。

到目前为止,同时在DUV领域和EUV领域对ASML进行追赶的,只剩下中国本土企业。

技术冲击

对于可量产的技术产品来说,市场占比是尤为重要的环节。

拿EUV光刻机举例,虽然尼康的EUV在2018年没有搞出来可以量产芯片的原型机,但是还在研发。而ASML的EUV已经交付给了晶圆厂开始造芯片,2019年基于EUV光刻机量产的先进芯片正式进入消费市场。



这种实际产品落地的冲击力是巨大的,ASML的EUV已经率先抢占到了消费市场,几乎所有涉及先进芯片制造的晶圆厂都在买ASML的光刻机。

尼康就算投入再多的资源,哪怕在几年后成功完成了EUV光刻机的制造,这时候的国际市场已经被ASML的技术生态套牢,根本没有客户选择尼康的产品。在这种状态下,尼康与其继续研发自己“虚无缥缈”的EUV,还不如直接宣告项目失败,避免资源浪费。



而中国的光刻机企业与尼康有所不同,甚至可以说中国企业有着尼康没有的“优势”。

首先,美国的出口管制已经完全堵死了中国本土企业获得EUV光刻机的机会,中国企业无法获得ASML制造的EUV,自主研发就成为了一个解决困境的办法。

其次,中国本土市场具备很强的市场规模,不但中国本土企业覆盖了整个半导体产业链,而且还有许多涉及消费产业的品牌满足内需市场。

最后,中国自主设备在近些年的发展中已经拿出了许多技术成果,国产浸润式DUV光刻机已经完成研发并交付客户进行测试,EUV光刻机也在稳步推进当中。



美国的出口管制让海外企业逐步丧失了与中国市场的联系,而海外企业在中国市场上出现的产品缺口则是被中国本土设备所替代,这是一个非常微妙并且恰到好处的结果。

中国大陆市场为ASML贡献了一定程度的营收占比,如果不能继续为中国客户提供DUV光刻机的售后服务,那么中国自主设备就会在未来一步步渗透到本土企业的生产线上,抢占ASML设备的市场空间。对于ASML来说,损失经济事小,丢失市场事大。

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