很多人只听说过台积电、阿斯麦,却没注意到东京电子——这家全球第三大半导体设备制造商,手握先进芯片制造的关键环节。即便最顶尖的3nm芯片,也离不开它的设备。
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1963年11月11日,曾在日商岩井工作的久保德雄与小高敏夫一起辞职创业,获得东京广播公司(TBS)出资500万日元,在东京赤坂成立了东京电子研究所,最初只有6名员工。公司起初以进口IC检测工具等高技术产品、出口汽车收音机为主营业务。1965年,东京电子与仙童半导体签约,成为其日本市场的IC检测工具代理商。
靠着代理业务赚到第一桶金后,两位创始人意识到:如果美国厂商直接进军日本,或日本本土巨头造出自己的设备,中间商将难以生存。1968年,东京电子与美国Thermco公司成立合资企业,开始在日本本土组装生产半导体扩散炉,成为日本第一家半导体制造装置厂商。
真正的转型发生在1970年代初。1971年尼克松冲击与1973年石油危机重创日本经济后,创始人久保德雄决心带领公司转向高附加值的半导体制造装置领域,彻底退出当时销售占比超过六成的车载电子产品业务。1978年,东京电子研究所更名为东京电子。1980年在东京证券交易所第二部上市,1984年升格至第一部。1989年,东京电子销售额突破6亿美元,成为全球第一大半导体制造装置企业。
1980年代,东京电子将全部利润投入研发,主攻涂胶显影设备——光刻工序的核心环节。1982年,公司启动CLEAN TRACK系统的开发。研发团队发现美国设备只追求性能,却做不到日本客户要求的极致稳定和微米级均匀度。东京电子推出的CLEAN TRACK系列,凭借精准的温湿度和离心力控制,将涂胶均匀度大幅提升。到1980年代中期,该设备不仅横扫日本市场,还反向出口美国。
如今,东京电子在全球涂胶显影设备市场占有率达92%,其中EUV曝光工艺配套的涂胶显影设备市占率达100%,旗舰产品CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z已成为全球主流晶圆厂光刻工艺的标准配置。
靠着对客户需求的精准把握,东京电子敲开了英特尔的大门。团队在美国俄勒冈州建立服务中心,美国白天收集数据,日本工程师通宵调试,第二天就能交付方案。CLEAN TRACK系列最终成为英特尔生产线的标配。后来芯片产业转向代工模式,东京电子又第一时间押注台积电,不仅卖设备还派工程师驻场调试,跟着台积电从0.18微米一路追到3纳米。
进入EUV光刻时代,每台阿斯麦的EUV光刻机都必须与东京电子的涂胶显影设备配合使用。EUV光刻胶极其敏感昂贵,对涂布精度的要求比传统光刻高出数倍。东京电子与阿斯麦协同研发多年,直接垄断了这个核心环节。如今台积电、英特尔、三星要生产3nm乃至2nm芯片,都必须采购东京电子的设备。
据行业数据显示,2025年全球半导体设备厂商排名中,阿斯麦以约372亿美元营收居首,应用材料约270亿美元排名第二,泛林排名第三,东京电子排名第四。另有排名将东京电子列为全球第三大半导体制造设备提供商。截至2026年7月,东京电子市值约32.31万亿日元。
尽管面临美日荷半导体出口管制,东京电子仍凭借不可替代的地位,深度参与日本本土芯片项目Rapidus——这家由日本经产省牵头、软银等8家日本大公司共同筹办的企业,计划于2027年下半年开始量产2nm制程产品。
从赤坂地下室的小型商社到市值超30万亿日元的全球芯片设备巨头,东京电子的60年历程,是一部从跟随者到行业关键玩家的教科书。没有躺赢的奇迹,只有在危机中果断转型、攥住核心技术的坚持。
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