陕西
今天，听到同事吐槽：“刻槽太慢了，很影响效率，干嘛要刻槽呢？”抛光垫上的槽，到底有什么用？不刻槽行不行呢？下面我就来回答一下。
开槽最核心的作用，可以总结成四个字：导液排屑。抛光液可以沿着槽快速进入抛光区域，同时，抛光过程中产生的废液和磨屑也能够通过这些通道被带走。
仔细观察不同CMP抛光垫，会发现它们的纹路并不一样。常见的包括：同心圆槽、放射槽、网格槽、螺旋槽，以及各种组合槽型。为什么不统一？因为不同CMP工艺，对抛光液流动、材料去除率以及晶圆表面均匀性的要求并不一样。
比如，同心圆槽就像一圈一圈的环形道路。放射槽则像从市中心向四周延伸的道路。网格槽则像城市里的棋盘格。不同的槽型，会改变抛光液在抛光垫表面的：流动路径、停留时间和分布状态。最终影响的，就是晶圆表面的抛光效果。所以，抛光垫开槽并不是拿刀随便划几下。槽的宽度、深度、间距、角度、排列方式，都可能影响CMP表现。
槽还有一个非常重要的作用：留住抛光液。很多人会觉得：既然抛光液是液体，那直接倒上去不就行了吗？问题在于，CMP不是静止的，晶圆和抛光盘都在高速运动。如果抛光垫完全光滑，抛光液很容易在离心力和相对运动作用下迅速被甩开。
而开槽以后，抛光液可以进入这些沟槽，在抛光垫表面形成更加稳定的流动通道。这有助于提高抛光液的输运效率。更重要的是，抛光液中含有真正参与材料去除的关键成分，例如磨粒、氧化剂、络合剂等。抛光液不是水，它本身就是CMP工艺的核心参与者。因此，让抛光液均匀到达晶圆表面，非常重要。
开槽还可以提高去除率，这是CMP一个非常重要的指标。开槽之后，槽边缘位置的剪切应力会大一些，切削效果更好，去除率上升。同时，抛光液供应情况、晶圆与抛光垫之间的接触状态、磨屑排出能力等，都会影响材料去除率。而槽型设计又会影响这些因素。因此，同样的材料、同样的抛光液，如果换一个不同槽型的抛光垫，CMP表现可能就不一样。
CMP最怕什么？很多时候，不是磨不掉，而是：磨得不均匀。晶圆中心磨得快，边缘磨得慢；或者边缘磨得太快，中间磨得太慢，都会影响最终结果。
先进芯片制造对晶圆平坦度的要求非常高。所以，抛光垫上的槽型设计，必须和抛光液、压力、转速、晶圆尺寸等工艺参数协同匹配。这也是为什么不同晶圆厂、不同材料、不同CMP工艺，可能采用不同的抛光垫设计。
槽型，本质上也是CMP工艺窗口的一部分。
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