番禺这家企业用十年光阴“把脉”微米世界，让本土智造不输进口

凌晨两点，番禺南大科技园的智造车间万籁俱寂，灯火零星。中央空调早已关停，白日轰鸣的生产线陷入沉寂，研发团队结束连日鏖战，疲惫归家。偌大的厂房里，只剩下一台重型精密设备静静矗立，还有不愿放弃的林赵云。

这是极志测量研发攻坚最煎熬的一段日子。整套设备的软件算法反复核验无误、硬件模块逐一排查正常，可始终达不到极致精度标准，数次试验全部落空，项目进度一度停滞不前。林赵云独自留在车间，未借助复杂仪器，她俯身将手轻轻贴在设备的测量机头上，闭眼凝神，如同老中医静心把脉，细细捕捉机器运转的每一丝细微声响、每一处微小震动。

极志测量创始人林赵云

极致的静谧中，一丝微弱的异响被她精准捕捉，其中一个工位的运转动静，比其余工位多出一丝细微的晃动。第二天，她果断让团队拆机核验，真相豁然开朗：仅仅是一颗螺丝，松了。常人难以察觉的细微瑕疵，在微米级精密检测领域，足以让所有研发努力归零。

“员工都走了，我就一个人留在车间里，想看问题究竟出在哪里。”多年后说起这一幕，林赵云眼中仍有光。也正是这份极致的细致与坚守，让企业研发一次次突破瓶颈。2026年年初，历经两代机型迭代、数年潜心打磨，林赵云带领扎根番禺的本土科创团队完成了一项关键技术突破，研发出广州本土企业的首台晶圆片全自动化测量机（极志INT-L2-300H），以发丝两百分之一的超高检测精度，为番禺智造突破技术壁垒写下生动注脚。

“早年连卡尺都是进口的，总得有人去做属于我们自己的产品”

2002年，祖籍福建的林赵云南下广东，先在东莞落脚，自此便踏入精密检测行业，2004年辗转扎根番禺，并于2016年创立极志测量智能装备（广州）有限公司，一头扎进精密检测这个“高冷”赛道。十年间，企业先后攻关平面度检测、PCB在线铜厚测量、飞扫测量、超大板层在线测量、AI视觉在线检测等技术，林赵云带领团队取得多项发明专利、实用新型专利与软件著作权，产品广泛应用于半导体、晶圆、光模块、PCB、汽车电子、新能源、航空航天等多个高端领域，并出口至俄罗斯、越南、泰国、沙特等国家，企业于2025年获评国家高新技术企业。

位于番禺南大科技园的极志测量

说起当年为何选择这么高难度的行业，林赵云说：“早年连卡尺都是进口的，医疗、工业领域各类检测设备几乎全是国外产品，总得有人去做属于我们自己的产品。”入行之初，国内精密检测领域几乎是国外品牌的“天下”，国产设备毫无市场话语权。即便到现在，国产高端精密检测设备的整体市场占有率仍未能赶超进口设备。

企业荣誉墙

误打误撞入行，可日复一日深耕一线后，林赵云越发笃定这份事业的价值。“很多客户曾经全靠人工卡尺检测，一名工人一天能完成的检测量十分有限，而且极易导致产品品质参差不齐。用上我们的自研设备后，整条生产线的产能瞬间翻倍，不仅提升了生产效率，更精准把控了产品品质。亲眼看到自研装备切实推动客户生产工艺迭代升级，内心满是价值感。”

技术团队在检测精密零部件

最让她备受鼓舞的是国产设备的逆袭时刻。当自主研发的设备在性能、精度上与进口大牌同台比拼、最终成功胜出拿下订单时，强烈的民族智造自豪感，让她彻底坚定了深耕赛道、攻坚本土制造的决心。

从起初“并不是特别技术型”，到如今对技术“特别执着”，她将自己这些年的成长历程形容为“一路升级打怪”。

被市场“推着走”，一路“升级打怪”

企业的技术进阶，几乎是被市场一步步“逼”出来的。林赵云说：“社会在发展，产业技术持续迭代，我们的设备就必须不停优化跟进。”企业起步阶段只生产通用检测设备，简单连接电脑就能适配客户基础检测需求；随着全行业自动化浪潮到来，通用机型渐渐跟不上产线标准。为匹配各家工厂差异化生产流程，公司顺势转型非标设备定制化研发。“这条路并不好走，既要吃透自身多年积累的精密测量技术，还要深耕客户每一道生产工序，双向磨合才能交出合格设备。”林赵云说。

极志测量服务的部分企业品牌

真正的硬仗，是半导体晶圆检测。“国家要突破‘卡脖子’，就必须做精度更高的设备。”彼时，国内晶圆几何参数检测，严重依赖进口设备，全自动化国产成熟方案长期存在供给缺口。

难，难在没有现成答案，全程全靠团队从零摸索。研发初代晶圆测量设备时，整个行业尚未形成统一检测标准，上下游都处在摸索阶段。“客户一线生产人员不清楚标准化检测方式，我们做设备的也没有成熟参照。”林赵云带着团队扎进客户生产车间，跟着整条工艺流程反复试产打样、上机实测、迭代修正、优化算法，一轮轮磨合调试，硬生生打磨出第一代晶圆检测设备。等到第二代机型加装全自动机械手上下料模块，实现无人化生产，才算水到渠成。无数个凌晨两三点，智造车间依旧灯火通明，通宵攻坚早已成为研发团队的日常。

7道工序、30秒极速检测，0.5微米精度看齐行业顶尖水准

这台极志INT-L2-300H，是这场持久战的答卷。整机重2吨、高1.7米、占地约5.5平方米，“块头”庞大，内里却精细如绣花：五轴双臂机械手自动抓取晶圆上料，视觉定位识别方位，二维码扫描精准读取每片晶圆专属“数字身份”，高精密激光传感器无接触扫描，自研GIEZHY软件实时运算整片晶圆及分区TTV、翘曲度、弯曲度等数据，自动判定品质等级，再由机械手分级分选下料——7道工序一气呵成，无需人工介入，数据同步上传工厂MES系统，全程可追溯。

极志INT-L2-300H——晶圆自动化测量机

行业精度要求，从两微米到一微米，再到0.5微米，林赵云说，每前进一步，都要“脱一层皮”。“基本功能好实现，最难的是机器这么大，机构误差本身很大，软件算法怎么把它优化到0.5微米？机构、光学、软件工程师，各个部门层层把关，就是要死磕。”为了保障长期亚微米级稳定检测，设备以热稳定性优异的花岗岩平台为测量基准，还须在22°C±1°C的恒温、无震动环境里作业。

晶圆自动化测量机内部构造

很多人不理解，为何要在晶圆检测设备上反复死磕、耗费数年心血。

林赵云表示：“晶圆是芯片制造的基底，看似薄薄一片，芯片的全部核心性能都依托晶圆来实现。晶圆的平面度、厚度均匀性、翘曲形变等关键指标，直接决定芯片成品良率与工作稳定性，容不得丝毫偏差。”

自动化测量机正在检测晶圆的平面度、厚度均匀性、翘曲形变等指标

一条成熟芯片生产线投资动辄上百亿元，肉眼难以察觉的微米级形变、厚薄偏差，会在多层贴合工序中持续放大，极易造成整片晶圆批量报废，给企业带来难以估量的损失。极志这台全自动晶圆测量机在核心精度指标上已全面看齐行业一流水准，靠着0.5微米的超高检测精度，能揪出肉眼完全看不见的细微瑕疵，把芯片生产的品质问题直接堵在源头。

与进口设备“掰手腕”，赢了价格，不输精度

过硬的自研技术，终究要在市场实战中站稳脚跟。这台广州首台晶圆自动化测量机，曾与国际一线设备同台竞标，凭借过硬的精度与稳定性成功突围、拿下订单。在性能对标进口的前提下，造价直降近一半，大幅降低了国内晶圆企业的高端检测门槛。

技术人员在使用检测设备

相较于进口设备交货周期长、售后响应滞后、运维成本高昂的痛点，扎根番禺的本土区位优势成为核心竞争力。企业紧邻南大干线、南沙快线，毗邻广州南站，依托珠三角路网搭建起半小时服务圈，可快速为广州及周边晶圆企业提供交付、调试、维保等贴身服务，这是海外、外地厂商无法比拟的本土化优势。

优质的营商环境，是企业持续突围的坚实底气。深耕番禺二十余年，林赵云表示：“番禺区方方面面做得很细致，所以在这边创业其实是很开心的。区科工商信局积极搭建政企、企企协同平台，帮助我们科创企业对接上下游、抱团发展；区总工会也到我们企业走访调研，精准解决员工工作生活难题，稳定人才队伍，为企业潜心研发解除后顾之忧。”林赵云说。目前，番禺半导体高端制造产业链仍处于培育阶段，配套资源尚有提升空间，此次“广州首台”的突破，进一步完善了大湾区芯片产业生态。

“择一事，终一生，再难也要做下去”

光鲜的技术突破背后，是无数个日夜的煎熬与坚守。长期面对研发无果的挫败感，兼顾企业攻坚与家庭琐事的林赵云，也曾内外交困、多次想放弃。但心中的两个信念，始终支撑她坚持前行。

极志测量研发的检测设备

一份是对团队的责任。深耕多年的研发团队凝心聚力、并肩作战，她希望守住本土科创平台，让团队的坚守与付出皆有回报。另一份是对本土制造的使命。看着精密检测设备长期被海外品牌垄断，国产智造受制于人，她始终不甘、不愿止步。“择一事，终一生。既然选择深耕精密检测领域，再难也要做下去。”林赵云说，责任与使命，推着她一次次迎难而上。

林赵云正在检查晶圆自动化测量机的运行情况

道阻且长，行则将至。在0.5微米的世界里，林赵云仍将俯身贴近她的机器，就像那个凌晨两点独自“把脉”的夜晚，一步一微米，把番禺智造的答卷，写给湾区，写给中国。

策划：陈海生、孙轶英

文字：代红燕

图片：许兴尧