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蔡司高管:中国EUV光刻机需要15年,我们遥遥领先!

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德国蔡司集团是全球半导体产业链上的关键供应商。该集团半导体事业负责人弗兰克・罗蒙德(Frank Rohmund)日前在接受彭博电视采访时表示,中国在研发尖端芯片制造设备方面大约落后 15 年。他认为,中国要开发出极紫外(EUV)光刻机需要 15 年,这是一个 "合理的假设"。

在中美竞相研发最先进人工智能(AI)模型的背景下,美国正试图阻止中国获得性能最高的 AI 芯片,半导体制造技术正是这一努力的主要目标。美国已禁止荷兰ASML向中国出口最先进的设备,而ASML正是蔡司半导体业务的股东。与此同时,中国也在向国内产业投入巨资,力争实现半导体自给自足。


蔡司是ASML EUV 光刻机所用光学系统的独家供应商,而ASML目前是全球唯一能够制造此类设备的企业。EUV 技术对于生产英伟达人工智能加速器所用的最先进芯片至关重要。

在罗蒙德作出上述估计之前,由弗朗索瓦 - 格扎维埃・布维尼(Francois-Xavier Bouvignies)领衔的瑞银分析师本周也曾撰文指出,中国开发出国产 EUV 技术很可能至少还需要 10 年。

出口管制与DUV

中国是ASML上一代深紫外(DUV)光刻机的主要市场之一。美国还规定,ASML若干技术更先进的浸没式 DUV 机型对华出口须取得许可。

罗蒙德认为,若将出口管制扩大到较旧的 DUV 设备,将不利于企业经营。他说:"我们不相信这些出口限制会带来正面效果,因为这反而会加速中国的创新。"


中国进展与蔡司的判断

中国在制造浸没式 DUV 光刻设备方面已取得进展。科技媒体《The Information》今年 7 月引述知情人士报道称,一家总部位于上海的企业已在制造此类设备。

罗蒙德谈到近期有关进展的报道,他说:"这其实并不令人意外,现在需要看这些设备的实际能力究竟如何。" 他补充道:"我们仍然遥遥领先。(We are still way ahead.)"

据蔡司介绍,该公司零部件用于全球约 80% 的芯片生产。 ASML 2017 年以 10 亿欧元收购了蔡司半导体业务的少数股权。


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