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堪称奇迹,中国再次打破美国垄断,国产高纯石英石通过芯片厂认证

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中国再次打破美国垄断,这次轮到了芯片行业的核心材料石英石,堪称奇迹!

根据快科技的报道,太平洋石英的高纯石英石已经通过国内头部内存芯片厂的认证,能用在300毫米晶圆生产上。



很多人不知道,想要提炼出高纯石英石,那就一定需要美国北卡小镇的石英石矿,因为这里拥有全球最顶尖的石英石矿,而中国在没有好矿石的情况下,却依然打破了美国的技术垄断。

这是国产高纯石英第一次进到国产晶圆制造的核心工艺里。这次过了内存芯片大厂认证,说明从石英砂提纯、炉管加工,到给晶圆厂供货,这条产业链国产已经走通了。



美国靠石头卡住全球芯片命脉,中国打破技术垄断

美国为高纯度石英石是怎么垄断全球的?原因在于高纯石英石不是做芯片主体材料的东西,但晶圆制造很多步骤都离不开它。

从拉硅棒,到做电路图案,到高温处理,都要用到高纯石英石。比如芯片的原料是单晶硅棒,要把多晶硅原料放进单晶炉,加热到 1414℃以上熔化成硅液,再用籽晶缓慢向上提拉,生长出一根完整的单晶硅锭,而盛装这锅 1400℃以上高温硅液的容器,就是高纯石英坩埚。



还有芯片上几十亿个晶体管的电路图案,是通过光刻工艺一层层 “印” 到晶圆上的。光刻的核心母版叫光掩模,而用来托住光掩模的底座,必须用高纯合成石英玻璃制造,没有其他材料可以替代。

可以说没有石英石,就造不出晶圆。它的纯度、稳定程度直接影响芯片制程能做更高、良率能到多高。

以前全球能稳定做出芯片制造级6N(99.9999%)纯度天然石英砂的矿,主要就是美国斯普鲁斯派恩。

倒不是说这家企业技术最好,而是因为它们掌握着全球独一无二的特殊石英矿。大家都知道,芯片对于杂质要求非常苛刻,一丁点的灰尘都可能让芯片报废。



因此越纯净的天然石英砂,加工后的杂质也相对较小。

而这个矿3.8亿年前地底岩浆慢慢冷却形成。石英长的时间长,内部缺陷少,封在里面的小气泡和小杂质少,尤其是原矿里硼、磷、铝、钛等等杂质是芯片最怕的元素。

但这里产的石英石硼含量低于百万分之零点一,铝含量低于百万分之二十。而且杂质多在晶体边上和伴生矿里,不在石英内部。所以后面提纯就好做。

总结一句话就是,这里的石英材料是天然好材料,其他地方没法和他比。

这个矿长期供全球九成以上芯片制造级高纯石英砂。采矿权和提纯技术在美国矽比科、挪威TQC手里。它们的高纯石英石产品直接被当成行业标准。

在中国之前,没有哪家企业的高纯石英石,不是从美国北卡小镇里面出来的。

因为普通石英矿,比如脉石英、沉积石英砂,里面小气泡多,杂质长得很深。小气泡里封着钠、钾、钙这些碱金属,还有硼、铝这些杂质。就算浮选、磁选、酸洗、高温氯化都用上,也很难去干净。

而且小气泡小于10微米,占比超过5%,常规办法根本分不开。要硬粉碎,把气泡露出来,除此之外,矿物小颗粒在高温熔化时会变成小晶核,让石英变浑、开裂,带的金属还会跑进硅液,影响芯片良率。



所以普通脉石英全流程提纯,最高稳定到4N,也就是99.998%。所以半导体行业一直都说,不用北卡小镇的石英矿,根本没有办法做高纯石英石。

但太平洋石英是国内第一家、全球第三家量产6N级天然高纯石英砂的企业。

我们国内没有斯普鲁斯派恩那种天生低杂质的顶级矿。国内矿杂质更高,硼、铝、碱金属都难去除,还有藏在石头里面看不见的小气泡和小杂质。矿的底子差,想实现6N级纯度,传统办法不行。



太平洋石英它的办法是精准选矿加高温气氛提纯。选矿不是把石头碾碎就完。传统选矿是批量筛、按批检。

但是太平洋石英按单块矿做。每块原矿先做成分检测,再用显微镜看小气泡和小杂质多少。高硼、高铝、高气泡的矿块直接不要,只留晶体完整、气泡很少的单晶石英原料。

这等于提纯前先给每块石头做体检,底子差的先淘汰,从源头把杂质上限压住。

选矿只是第一步,难的在提纯。太平洋石英没停在普通物理分选、化学浸泡。它用高温氯化煅烧、真空焙烧水淬、惰性气氛熔融这一套。

它先在1000到1200度,用含氯气体煅烧。高温下,原来钻在石英内部的钛、铁、碱金属和含氯气体反应,变成气态氯化物,从晶体里跑出去。这一步解决了酸洗碰不到的深层杂质。



然后抽掉空气,控制温度变化。让晶体里的小气泡受热膨胀,均匀裂开,把里面封的杂质放出来。再用深度酸浸,把放出来的残留杂质清掉。这解决小气泡藏在里面碰不到的问题。

最后在不让它乱反应的气体保护下熔化精炼,进一步降低气体杂质。最后总杂质控制到百万分之几,硼、铝、碱金属等芯片怕的杂质稳定到十亿分之几。用国内矿源做出6N级天然高纯石英砂。

在这之前,全球能稳定量产5N级以上高纯石英砂的企业只有美国矽比科和挪威TQC。太平洋石英量产后,中国成全球第三个掌握这项技术的国家。它不靠进口优质原矿加工,而是用国内自主矿源和工艺路线,打破只有斯普鲁斯派恩矿才能做芯片级石英的资源垄断,打破了半导体产业的认知,创造了新的纪录。



但打破技术垄断只是第一步。拿到晶圆厂认证、拿到订单,又是另一道关。

存储芯片认证难度非常高,中国高纯石英打入供应链

芯片制造级石英材料因为要用在芯片制造很多的流程里面,包括扩散、氧化、用气体长材料、去材料等高温步骤。所以纯度、稳定直接影响晶圆良率。

太平洋石英要获得订单,就一定要获得半导体厂的认证,认证周期一般3到5年。这不是行政门槛,是行业特点决定。



原因和你暗淡,晶圆可是非常值钱的,石英稳定度不行那就可能全废。所以晶圆厂和设备商不轻易换供应商。

而验证要走送样检测、小批量试产、中间试验线跑片、长期可靠性。还要同时过设备商和终端晶圆厂两道认证。这里面指标几十项,包括1100度以上长期尺寸稳定、高温下长杂晶速度、金属杂质跑出多少、忽冷忽热不开裂、被强光长期照不变坏等等。要求之严苛,堪称地狱级别的,只要有一项不行就过不了。

太平洋石为了进入国际主流设备商供货链,努力了十多年,产品有低压高温炉管、石英晶舟、石英锭等等,已经向泛林集团、东京电子等国际设备巨头批量供货。



泛林和东京电子是全球前三的设备厂,分别在做芯片刻蚀和沉积设备、扩散氧化设备上是行业龙头。进它们供货链,说明产品达到全球设备行业通用准入门槛,也为进入终端芯片制造厂打下基础。

这也说明半导体材料行业一个循环,认证周期长、研发投入高,企业先过核心客户认证,拿稳定批量订单,才有持续研发钱,再拓展更高端产品和客户,最后建立技术和市场壁垒。

没有稳定订单,单点技术突破很难走完整个产业验证。太平洋石英用多年走完从研发到批量供应,才最终打破海外企业在高端半导体石英领域的长期垄断。



而通过国内内存芯片大厂认证,是国内半导体石英材料的重要时刻。它说明从石英砂提纯、炉管加工,到终端晶圆厂供货,这一条链条都实现了国产化。

大家要知道,内存芯片制造步骤多、周期长、产量大,高温步骤占比高。对石英耗材长期可靠和批次稳定要求比普通芯片高。所以内存芯片厂认证门槛更高,产业背书更强。

现在一整套链条都做到了国产化,意味着国内半导体石英产业不再被上游原料和下游认证卡住,有自主批量的供货能力。

这个突破价值不只在单个客户订单。通过存储芯片厂认证后,产品就有资格进计算芯片、电源芯片、模拟芯片等其他晶圆厂,会加快国产替代在整个芯片制造领域渗透。



而现在太平洋石英更是在努力彻底摆脱矿石,用化学合成的方式,实现7N级高纯石英石,拿下全球市场的话语权,彻底摆脱卡脖子风险。

中国现在想换到道超车,合成高纯石英抢占EUV市场

太平洋石英在尝试合成石英砂路线,这是从矿物提纯换到化学合成技术路线。目标是突破天然石英矿纯度天花板,进EUV光刻机等高端光学坯料市场。



我们刚刚说了天然矿物本身杂质、内部小气泡,还有熔化时坩埚污染,决定天然路线难稳定突破6N级纯度,就算是北卡小镇的石英矿,极限也也就是7N级(99.99999%),杂质总含量低于千万分之一。

而合成路线不依赖天然矿。用高纯硅源气体,比如四氯化硅、三氯氢硅或硅烷,在高温反应腔和氧气反应。生成二氧化硅分子,一层一层落在旋转基体上,形成石英毛坯。

在整个过程中,全程不接触容器,避免坩埚带进金属杂质。金属杂质总量可降低到十亿分之几。生成的高纯石英石透光均匀、气泡少、被强光长期照更稳,

太平洋石英当前合成石英布局在中间试验到量产过渡。2026年5月,年产450吨合成石英材料项目开工,主攻6N超高纯合成石英,同时向7N延伸。产品覆盖半导体高温工艺耗材和EUV光学坯料。



当然太平洋石英并不是第一个尝试合成石英石的企业,全球高端合成石英市场长期由日本东曹、信越化学、美国康宁、德国贺利氏主导。东曹占全球半导体用合成石英差不多有2成市场份额。

而太平洋石英不同在于有从原料提纯到石英管、石英锭、光学坯件的全产业链加工能力,可直接向下游设备商、光学厂商交出完整的石英产品,不是只卖原料。尝试7N级合成路线,对太平洋石英不是简单升级,是绕过天然矿源限制的最佳技术方案。

EUV光刻机对石英材料要求是当前最高。像EUV光刻机掩膜基板、投影光学系统透镜都要用合成石英玻璃。要求包括13.5纳米波长下高透过、缺陷少,100纳米以上颗粒数低于每平方厘米5个长期被强光照射性能稳定。这些天然熔化石英做不到,只有合成路线能满足。

可以说,太平洋石英7N合成石英砂的产业价值,不仅仅是替代现有天然石英市场,而在打开最先进光刻机光学、高端光纤、航天航空等天然路线覆盖不了的增量市场。



说白了,前面靠天然矿提纯,是在别人定规则的市场里追。后面靠合成路线,是把原料来源换掉,把上限拉开。

两条路一起走,国产石英材料才有机会从能供货,走到能供高端货,再到能掌握全球话语权的节奏。

太平洋石英这次过内存芯片大厂认证,不是终点,是国产石英材料从材料端往芯片制造里面走的一步,只要这条链继续跑通,对国产半导体产业的发展具有重要的作用。

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