一台炉子定生死：谁把碳化硅的“命门”攥在手里？

碳化硅从材料到半导体功率器件会经历单晶生长、晶锭切片、外延生长、晶圆设计、制造、封装等工艺流程。其中，晶体生长为碳化硅衬底制造最核心工艺环节，决定了碳化硅衬底的电学性质。碳化硅材料的制备过程中，长晶炉扮演着至关重要的角色，长晶炉不仅是碳化硅晶圆制备的关键设备，更是决定碳化硅材料性能与品质的重要因素。

碳化硅单晶生长装备被誉为第三代半导体产业的“芯片摇篮”，其技术门槛极高，尤其是大尺寸、低缺陷晶体的制备长期被国外垄断。实现该类装备国产化，对我国第三代半导体产业发展意义重大。国内众多企业持续深耕，在碳化硅长晶炉及配套工艺上不断实现技术突破。

天科合达

北京天科合达半导体股份有限公司成立于2006年，是国内率先从事第三代半导体碳化硅单晶衬底及相关产品研发、生产和销售的国家级高新技术企业之一，也是国内碳化硅单晶衬底领域生产规模较大、产品种类较全的碳化硅衬底供应商。

来源：天科合达

天科合达目前已经开发出了第五代SiC单晶生长炉，该生长炉为公司自主研发设计制造。炉体采用单室立式双层水冷不锈钢结构，炉子整体结构由真空系统、感应加热、压力控制和提拉控制四部分控制体系组成。经过不断的升级迭代，第五代单晶炉在性能上已成功达到国外同类水平，成本相比仅有其1/4。

烁科晶体

山西烁科晶体有限公司是一家从事第三代半导体材料碳化硅生产和研发的企业。公司通过自主创新和自主研发全面掌握了碳化硅生长装备制造、高纯碳化硅粉料制备工艺，N型碳化硅单晶衬底和高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的制备工艺，形成了碳化硅粉料制备、单晶生长、晶片加工等整套生产线。公司碳化硅单晶生长炉主要应用于生长6英寸N型及半绝缘碳化硅单晶衬底。

晶盛机电

浙江晶盛机电股份有限公司是国内领先的专注于“先进材料 先进装备”的高新技术企业，围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备，并延伸至化合物衬底材料领域。为半导体、光伏行业提供全球极具竞争力的高端装备和高品质服务。

在碳化硅装备领域，公司开发了碳化硅长晶及加工设备（研磨、切割、减薄、倒角、抛光、清洗及检测），满足碳化硅衬底规模化产能建设需求的同时，在技术、工艺以及成本方面构筑壁垒，强化公司在碳化硅衬底领域的核心竞争力。

露笑科技

合肥露笑半导体材料有限公司成立于2020年，是一家专注第三代功率半导体材料碳化硅晶体生长、衬底片、外延片研发、生产和销售的高科技企业。

来源：露笑科技

公司突破了高质量碳化硅晶体生长、高几何精度及近零损伤表面加工关键技术，掌握了制造碳化硅长晶炉的核心技术、衬底加工和清洗的系统解决方案，产品参数达到了P级标准，已通过外延厂家批量验证。

科友半导体

哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司于2018年5月成立，是一家技术研发型高科技企业，专注于半导体装备研发、衬底制造、器件设计、技术转移和科研成果转化。

来源：科友半导体

科友半导体立足于哈尔滨，打造科技研发、装备制造、材料生产的产学研一体化园区、推动国内第三代半导体材料和产业水平快速发展。

天成半导体

山西天成半导体材料有限公司成立于2021年8月，是一家专注于第三代半导体碳化硅（SiC）衬底材料研发、生产及晶体生长装备制造的高新技术企业。公司现已形成了碳化硅（SiC）单晶炉制造、碳化硅（SiC）粉料制备、碳化硅（SiC）单晶生长和衬底制备等完整的生产线。

北方华创

北方华创科技集团股份有限公司成立于2001年9月，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。在化合物半导体领域，北方华创可提供长晶炉、干法刻蚀设备、薄膜设备、炉管设备、清洗设备，为客户提供全面的工艺解决方案。

晶升股份

南京晶升装备股份有限公司专注于晶体生长设备和材料制备技术的研发、生产与销售，重点攻克大尺寸半导体级单晶硅炉、碳化硅（SiC）长晶炉、衬底加工设备及外延生长设备等关键装备的技术难题。通过持续创新，突破国外技术垄断，推动半导体高端装备国产化，保障了我国半导体产业链安全。

来源：晶升股份

公司碳化硅单晶炉包含PVT感应加热/电阻加热单晶炉、TSSG单晶炉等类别产品，主要应用于6-8英寸碳化硅单晶衬底，具有结构设计模块化、占地小、高精度控温控压、生产工艺可复制性强、高稳定性运行等特点。

连城数控

大连连城数控机器股份有限公司成立于2007年，系国家级高新技术企业、行业标准起草单位，布局光伏与半导体装备领域全产业链。

来源：连城数控

在碳化硅设备方面，公司合成炉持续保持技术领先，市场份额稳步提升；电阻炉已实现批量生产并出口至海外市场；外延炉已进入整机工艺调试阶段，逐步优化工艺适配性；液相法碳化硅长晶炉继续保持小批量出货状态。

恒普技术

宁波恒普技术股份有限公司致力于材料基础研究，为行业提供创新解决方案。公司碳化硅长晶炉设备包括电阻炉、感应炉和籽晶热压炉。

优晶科技

来源：优晶科技

苏州优晶半导体科技股份有限公司是一家专注于大尺寸（6英寸及以上）导电型碳化硅晶体生长设备研发、生产及销售的高新技术企业。公司经多年努力研发电阻法碳化硅晶体生长设备及工艺，于2019年成功研制出6英寸电阻法碳化硅单晶生长设备，经持续工艺优化，目前已推出至第四代机型⸺UKING ERH SiC RV4.0电阻法碳化硅长晶设备，可用于6英寸、8英寸量产。

汉达科技

沈阳中科汉达科技有限公司创建于2018年，是国内领先的半导体材料制备装备和真空非标装置的高新技术企业。主营半导体装备、科研装备、非标真空装置等业务。

卓远半导体

来源：卓远半导体

卓远半导体成立于2018年，是一家以创新开发为主导，以先进技术为基石的第三代半导体高新科技企业。公司自成立以来一直专注于宽禁带半导体晶体装备及其材料的研发生产与制造，主营业务有宽禁带半导体晶体生长装备、金刚石与碳化硅（SiC）晶体工艺及解决方案以及在智慧电网、新能源汽车等领域的相关应用。

广州粤升

广州粤升半导体设备有限公司是一家专业研发生产半导体设备的公司，成立于2021年。公司专注于碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的碳化硅外延片和晶片，为客户提供高端、高效和高可靠性的解决方案。

晶驰机电

杭州晶驰机电有限公司成立于2021年7月，公司致力于精密焊接技术的研究，金属管件和真空腔体的开发与生产。主要为国内外半导体设备——PVD、CVD、PECVD、MOCVD、刻蚀机、离子注入机等提供专用高端精密零部件，是国内外半导体设备厂的重要供应商。

目前公司产品包括6英寸水平进气和8英寸垂直进气碳化硅外延设备（LPCVD法），金刚石晶体生长设备（MPCVD法），氮化铝晶体生长设备，碳化硅源粉合成炉，碳化硅晶体生长设备（PVT法），氧化镓单晶生长炉（导模法、CZ法），各种晶体和晶片热处理炉。

李鹏程.大尺寸碳化硅单晶生长设备及温控方法研究

各公司官网等