10月29日,俄罗斯卫星通讯社报道,荷兰中央统计局发布报告显示,对荷兰经济最为关键的八种材料中,有七种依赖中国的加工。荷兰获得的镓有99%、石墨有94%、稀有金属有84%都来自中国。镓又是芯片制造不可或缺的基础原料,也是荷兰最为看重的关键原材料。
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就在短短不到一个月前的10月4日,美国智库“科技与治国方略中心”对外发布报告。里面统计,截至今年第一季度,中国晶圆厂累计进口343台浸没式DUV光刻机,当中270台为阿斯麦NXT:1980i机型。报告给出的建议十分直白,称荷兰现行出口许可制度存在漏洞,呼吁美国连同盟友,全面禁止向中国出口浸没式DUV光刻机,同时还要严格管控相关备件供应与维修服务。
一边是美国喊着要禁售光刻机,一边是荷兰自己承认,造光刻机用的关键原料捏在中国手里。这两件事放在一起看,荷兰的两难处境就很清楚了。
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343台DUV的生产能力让美国抓狂
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美国智库紧盯这343台浸没式DUV光刻机,关注点主要在于这些机器能够实现的生产能力。
NXT:1980i算不上阿斯麦体系里最顶尖的机型,却具备加工7纳米级别逻辑芯片的能力。按照报告测算,单台NXT:1980i一年可以生产十万颗以上等同于昇腾910C规格的AI芯片。拿不到EUV光刻机的前提下,国内晶圆厂只能把DUV设备的潜力挖掘到极限。借助多重图形化(multi‑patterning)技术,这些硬件参数并非顶级的DUV设备,同样可以实现先进制程芯片的制造。
正是看到DUV设备可以支撑AI芯片生产,这份美国智库报告才提出要把浸没式DUV也纳入封锁范围。报告呼吁美国及其盟友全面叫停浸没式DUV对华出口,进一步严控备件供货与维修服务。报告同时给出一组数据,中国在阿斯麦浸没式DUV对外出口当中的占比持续走高,从2022年的26%,攀升至2024年一季度到2026年一季度的60%‑70%。
不过这套强硬的封锁思路,阿斯麦并不认同。10月14日,阿斯麦首席财务官戴厚杰在财报电话会议上直言,美国国会推动的MATCH法案是一个“糟糕的主意”。一旦法案落地实施,只会倒逼中国加快自研,催生出可以与之竞争的本土技术。他还披露,今年第三季度,中国大陆市场就贡献了阿斯麦23%的净销售收入。
阿斯麦的态度背后有现实的商业考量。中国市场撑起企业接近四分之一的营收,如果彻底切断对华销售,首先是对应的业务收入会直接化为乌有。
更重要的是,国内DUV光刻机的国产化进程本就在稳步推进,倘若连NXT:1980i这类主流浸没式设备的采购通道也被封死,外部设备获取的渠道被大幅压缩,国内半导体产业会被迫把更多资源、人力投向国产光刻机的攻关迭代,本土替代的节奏只会进一步加快,最终反而会让阿斯麦永远丢掉中国这块庞大的市场。
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要搞禁售,荷兰得掂量自身代价
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荷兰中央统计局那份报告,是把风险直接摊在了明面上。
对荷兰来说,问题已经不是还能不能把光刻机卖给中国,而是造光刻机的原料要从哪里来。镓、锗、稀土、石墨,这些重要材料的加工产能,大多掌握在中国手里。
光刻机不是轻易能生产出来的。机器里的精密光学部件、激光器、各类磁体,样样都离不开这些原材料。要是中国收紧关键原料的出口,荷兰的半导体产业链会第一时间感受到压力。尽管不至于直接导致停产,但生产成本必然会往上猛涨。
欧洲自己其实早就推演过这种局面。《金融时报》6月就报道过一场欧盟和中国的贸易战桌面模拟。一开始欧盟这边打算拿限制阿斯麦光刻机出口当筹码,结果扮演中方的一方放出信号,可以收紧稀土供应做反制。欧盟内部马上就吵开了,德国担心自家对华贸易受损,荷兰更怕本国的支柱企业被拖垮。到最后,欧盟只能拿一份含糊的折中方案草草收尾。
这场模拟也戳破了一个现实:欧盟手里握着高端技术的优势,但中国手里攥着关键原材料这张反制牌。限制光刻机出口,要熬上好几个月才能对中国半导体造成一点很有限的影响;可稀土供应一旦收紧,短短几周,欧洲许多产业就要吃不消。
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光刻机和稀土,究竟谁卡谁的脖子
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现在的局面已经相当明了——美国一心想要封禁DUV光刻机,阿斯麦出于商业利益坚决反对,荷兰政府被夹在中间进退两难,偏偏制造光刻机的不少关键原料,供给还攥在中国手上。
美国智库报告用了“囤积”这个词来形容中国采购光刻机。可现实情况是,国内拿不到EUV光刻机,才只能大批量采购DUV设备。要是今后连DUV的采购通道也被堵死,那就只能咬牙走自主研发这条路。至于阿斯麦高管戴厚杰所说的会逼着“中国加速自主研发”,这话并不是在帮中国说话,而是站在阿斯麦自身长远利益的角度做出判断。一旦中国造出性能稳定、可以投入产线商用的国产DUV,阿斯麦丢掉的就不只是当下的订单,而是整个中国的未来市场。
荷兰统计局的数据,又点出另一层现实——光刻机是荷兰引以为傲的王牌产业,但生产所需要的原材料对中国有这么高的依赖度,不是靠盟友互相协调就能简单抹平的。想要开发新的替代货源,要耗费时间、完成各类技术认证,还要承担不小成本。因此在中国面前,荷兰手里并没有多少谈判筹码,根本硬气不起来。
美国可以轻轻松松喊出全面禁售的口号,是因为它本身并不生产光刻机。荷兰却做不到如此洒脱,如果紧跟美国实施禁售,不仅会丢掉中国市场,还会倒逼中国半导体加速国产化;可要是拒绝美国的要求,又要承受来自华盛顿的外交压力。这道选择题,无论荷兰怎么选,都选不准正确答案。
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禁令很难一刀切,博弈或将走入灰色地带
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表面上看,美国智库的报告给出的方案十分干脆:把浸没式DUV对华销售渠道全部切断。但综合荷兰的原材料短板、阿斯麦的商业利益,这套完全“一刀切”的禁令,在现实当中几乎很难落地。
美国只管抛出强硬的管制方案,却很少去考虑盟友要为此付出多大代价。在华盛顿政客的盘算里,推动光刻机全面对华禁售,只为达成打压中国半导体产业这个战略目的。至于丢掉市场、遭遇原材料反制这些风险,全部都甩给荷兰和阿斯麦来扛。美国追求的安全目标,和欧洲产业活下去的现实利益,本身就存在冲突,这也是美欧出口管制同盟底下一直藏着的裂痕。
往后的局面,大概率不会完全放开对华出口,同时也做不到彻底一刀切全部封死。荷兰很可能继续维持现在个案审批的许可制度,在美国施压和本国利益之间反复权衡,一部分设备审批放行,另一部分直接驳回。既然整机出口很难彻底堵死,美国就会换别的办法,把管控重点放到零部件、维修服务,还有设备内部含有的美国技术组件上面。用这类间接手段收紧管控,这场博弈,也会慢慢滑入规则模糊的灰色地带。
对国内半导体行业而言,外部环境的高度不稳定,将是长期要面对的现实。这343台DUV光刻机能给我们争取到宝贵的发展窗口期,依靠多重图形化技术,确实可以把设备的性能潜力充分挖掘出来,但这项技术本身存在物理上限,不能指望只靠DUV就无限追平全球最顶尖的芯片工艺。
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另外要看到,博弈是双向的。我们手里掌握原材料加工的优势,却不能把产业安全押在对手的供应链弱点之上。不管是光刻机设备,还是镓、稀土这类关键矿产,外部供应永远充满变数。一方面要持续攻关国产光刻机,另一方面,关键原材料也要开拓更多来源,搭建多元化的供应链。
说到底,对手手里的筹码可以用来互相牵制,但不能当做自己的安全保障。在地缘博弈之中,只有把核心技术和产能攥在自己手上,才能做到未雨绸缪,这才是我们最大的底气。
张屹|国际政治博士、世界经济博后
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