通信专家：我们没必要自研EUV，从经济上看不划算，都是被逼的

前沿导读

前中兴通讯副总经理、复旦大学中国研究院特邀研究员汪涛在接受《观察者网》两岸圆桌派节目采访时指出，在ai产业中，中国大陆的弱点是芯片，而中国台湾恰好在这个领域是顶尖。如果我们能合作，那么将会在ai领域对外形成压倒性优势。不过遗憾的是，我们双方的合作被人为制造出分离和隔阂。

这个问题还存在于我们跟欧美企业以及日韩企业，我们一直希望大家各有优势，各赚各的钱，但美国这么操作，实际上是逼迫中国大陆企业在所有环节都要自立自强。

比如EUV光刻机，全球每年的销量也就四五十台，此前我们根本没必要搭建一套独立的EUV光刻机产业。但现在被逼的没办法了，我们只能自主研发。从经济效益来看，这件事并不划算，但事到如今，我们被逼的走上这条路。

经济效益

汪涛先生所表达的观点并没有什么问题，而且逻辑清晰思路明确。

EUV光刻机目前只有ASML一家企业制造销售，并且ASML制造的第二代EUV光刻机在向大客户台积电推销的时候遭到冷落，台积电表示该设备的售价太贵，当下继续采用第一代EUV光刻机制造更先进的芯片。

第二代EUV的售价在3.5亿欧元以上，比两台第一代EUV的价格还贵。本身该设备的研发投入就很高，只有售卖出去才能获得资金收回研发成本，一旦客户对采购设备的兴趣不大，这对于ASML来说有着直接经济冲击。

ASML为了研发光刻机，不但吸纳了两家大型的美国科技公司，而且还获得了德国蔡司、德国政府以及欧盟的帮助，属于高投资高回报高风险的小众技术产业。

说光刻机“小众”，是因为全球范围内研发光刻机的企业屈指可数：荷兰ASML、日本尼康、佳能、中国上微及其他本土企业。

一般的国家地区，并没有能力支撑本土企业开发光刻机设备，就算开发出来了，也几乎无法与以上几家巨头抢夺市场，白白浪费研发资源。

日本企业可以在光刻机领域发家，则是有历史因素在内。

当时光刻机（曝光机）的霸主是美国地球物理公司（GCA）和珀金埃尔默（P-E）这两家企业，光是GCA的市场占比，就常年保持在50%以上。较高的市场占比让美国企业开始慢待海外客户，海外客户群体急需要另一个企业来制衡一下美国。

彼时的ASML还只是一家小企业，其光刻机设备也并没有获得国际层面的认可，这给了日本企业发展光刻机的机会。

尼康和佳能本身就是日本老牌的光学工业巨头，拥有独立制造高水平镜头的能力。

1980年，尼康率先完成研发，推出了自家首款步进式光刻机NSR-1010G。为了打开市场，尼康开始主打客户服务，在售卖设备的同时附赠工程师的服务包，这让尼康光刻机开始在国际层面蚕食GCA的客户群体。

尼康在后来也投入1000亿日元研发EUV设备，但是直到2018年都没有造出一台可以制造芯片的原型机设备，无法推进到下一个技术阶段。而此时ASML已经成长为巨头公司，在欧洲和美国的帮助下成功开发出了商业化级别的EUV。

尼康知道自己没机会了，于是便宣布放弃EUV项目。

尼康放弃EUV的理由一方面是觉得EUV困难，另一方面就是因为ASML已经率先抢占了市场，需要EUV的客户已经购买了ASML的设备，就算尼康的设备研发完成，也无法在市场上获得青睐。与其继续投入资金，还不如果断放弃，避免浪费资源。

被迫发展

EUV不同于DUV设备，EUV的核心作用是制造晶体管尺寸更小的先进芯片，而DUV则是以制造晶体管尺寸合适的成熟芯片为主。

浸润式DUV设备既可以造成熟芯片，也可以造先进芯片。但是造先进芯片需要曝光两次，除此之外还需要两次刻蚀与沉积的工艺交替，技术步骤复杂、制造成本高，使用该技术制造先进芯片的企业都是些少数实力雄厚的大厂。

需要先进芯片的应用场景并不多，ai算力芯片、手机SOC、电脑CPU、显卡GPU都属于逻辑芯片，工艺越先进，逻辑芯片的性能就越强，可以衍生出许多高科技产品。比如汽车的自动驾驶、3A游戏大作、虚拟现实等。

剩下就是内存芯片，如今ai产业所需的高带宽内存（HBM），需要EUV光刻机对核心关键层进行曝光制造，所以目前EUV光刻机的主要作用就是制造先进的逻辑芯片和内存芯片。

而中国芯片产业出货量最多的是成熟芯片，DUV光刻机足以满足需求，所以也就没必要自研一套EUV技术体系。ASML集合了全球资源开发EUV光刻机，并且服务于全球客户，我们可以采购ASML的设备来制造先进芯片。

不过以上都是建立在全球化合作的体系下开展工作，EUV光刻机自上市以来，就被美国紧盯着不放。为了避免EUV光刻机流入中国大陆市场，美国将其纳入《瓦森纳协议》，强制性让荷兰政府撤销了ASML EUV光刻机对华出口的许可。

设备买不到，我们制造先进芯片的路径被“堵死”。在这种被制裁的恶劣条件下，我们必须要构建一套属于中国芯片的EUV生态链，只有这样才能保证我们继续发展尖端芯片。

尼康此前的EUV项目失败，并不能代表尼康的技术不行，主要问题是造出来有没有客户购买。客户不买，或者客户们不信任尼康的设备，只信任ASML的产品，那么尼康花那么多钱研发EUV图什么？

而中国研发EUV是建立在被封锁的前提下，中国晶圆厂需要EUV来尝试制造更高水平的芯片，这也就给国产设备创造了一个明确的消费市场。

有了消费市场，下一步便是稳步推进国产EUV的研发。相比研发EUV所消耗的资源庞大，有一套自主可控的制造产业链才是更重要的事情。