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江淮科技英才 | 程厚义:一位“科创尖兵”的江淮逐梦记

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  在第三届全国博士后创新创业大赛总决赛上,一位年轻创业者带着他自主研发的“12英寸高精度薄膜沉积设备”斩获铜奖。他就是程厚义——北京航空航天大学集成电路学院助理教授、合肥致真精密设备有限公司创始人,也是2025年新入选的安徽省“江淮英才”。
从控制科学本科生到国内首批集成电路科班博士,从实验室“手搓”第一台设备到领军国产高端薄膜沉积装备产业化,程厚义用七年时间,走通了一条从基础研究到产业转化的硬核之路。
 “买不到,那就自己做”
程厚义的科创之路,始于一次“被迫”的选择。
2018年,中美贸易战骤然打响。刚从控制科学专业本科毕业的他,作出了一个关键决定:“这个方向国家更需要。”他毅然转向集成电路材料研究,进入北京航空航天大学攻读硕博。
然而,先进薄膜沉积设备根本买不到。“买不到,那就自己做。”导师这句话,开启了程厚义与设备研制的缘分。
2019年起,他所在团队承担国家专项课题,自主研制薄膜沉积设备。程厚义成为核心成员之一。“第一台设备,每一个部件都是我自己搓的。从机械、控制到材料、工艺,全部自己动手。”
2021年,这台历时三年打造的原理样机通过专家鉴定。多位院士和业内专家认为设备在多项技术上实现了突破,并鼓励他:“你们不如出来产业化,国家正需要这个。”
走出象牙塔,从科学家到创业者
2021年,程厚义在合肥创办致真精密设备有限公司,专注半导体薄膜沉积核心设备。
从实验室到市场,角色转变远比想象艰难。“在学校不用担心经费,到了企业,房租、物业、水电、人工,全是成本。”创业初期最大的困难是没有启动资金。
怎么办?去比赛。程厚义带着一台设备和自写的商业计划书,四处参赛。“第一笔启动资金,就是通过比赛拿到的。”更重要的是,合肥专业的评委为初创企业提供了大量商业化建议,帮助打磨产品与模式。
合肥以其特有的科创环境伸出援手。程厚义先后获评合肥市高层次人才,种子基金、天使基金分别给予投资,还通过政府贴息贷款等获得约1亿元资金支持。“这解决了创业初期的燃眉之急。”
从科研设备到工业装备
创业之初,致真精密定位清晰:从科研设备做起,逐步向工业级、半导体级迈进。
第一款面向高校的科研型薄膜沉积设备,定价两三百万元。“此前国内没有一家厂商能把科研设备卖到这个价位,这个区间全是进口的。我们是第一个能跟国外设备掰手腕的国产厂商,价格更低,性能不输。”
凭借过硬指标和快速服务,这款设备迅速打开市场。2023年,公司开始向工业端发力。“企业就是要‘既要又要还要’——性能好、效率高、成本低。”团队投入大量精力打磨产品,实现“一键搞定”的全自动操作。
2024年,公司营收达五六千万元;2025年,已签订合同额突破1亿元,保持倍数级增长。更令人振奋的是,在国家项目支持下,致真精密成功研制出量产型高端薄膜沉积设备,售价约5000万元,而同类进口设备高达1亿元。该设备即将进入产线验证,有望打破国外长期垄断。
为什么是合肥?
作为山东人,程厚义将企业和团队扎根合肥,有着深刻的产业考量。
“合肥的产业链非常完整。”下游有长鑫存储、晶合集成、维信诺等龙头客户;上游有翰博高新等材料供应商和大量精密加工企业;中游有众多半导体设备和零部件厂商。“对我们整机设备企业来说,太重要了。”
正是“产业链+人才链+服务链”的深度融合,让程厚义和致真精密快速成长。2023年,他入选北航“卓越百人博士后支持计划”和博士后创新人才支持计划(本专业全国仅15人),同年入选合肥市领军人才;2025年,又入选安徽省“江淮英才计划”。
从“手搓”第一台设备到领军国产高端薄膜沉积装备产业化,从博士生导师眼中的“稚嫩”小伙到“江淮英才”——程厚义用行动证明:当个人理想与国家需要同频共振,当高校创新与地方产业深度融合,一颗科技创新的种子,就能在江淮大地上长成参天大树。 (全媒体记者韩如意)

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