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高纯碳化硅粉体,已被这些中国企业拿下!

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碳化硅衬底的品质,藏在那一捧高纯粉体里。纯度、杂质、粉体粒径——任何微小的不完美,都会在晶体生长中被无情放大。当下,国内一批企业持续攻坚粉料合成、提纯、粒度精准控制等关键环节,逐步突破技术壁垒,高纯碳化硅粉体这一材料,正迎来国内企业的集体技术攻克。

01

山西烁科晶体有限公司




来源:烁科晶体

山西烁科晶体有限公司是一家从事第三代半导体材料碳化硅生产和研发的企业。公司通过自主创新和自主研发全面掌握了碳化硅生长装备制造、高纯碳化硅粉料制备工艺,N型碳化硅单晶衬底和高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的制备工艺,形成了碳化硅粉料制备、单晶生长、晶片加工等整套生产线。

02

北京天科合达半导体股份有限公司

北京天科合达半导体股份有限公司成立于2006年,总部位于北京市大兴区,是国内率先从事第三代半导体碳化硅单晶衬底及相关产品研发、生产和销售的国家级高新技术企业之一,也是国内碳化硅单晶衬底领域生产规模较大、产品种类较全的碳化硅衬底供应商。公司已形成拥有自主知识产权的碳化硅单晶生长炉制造、原料合成、晶体生长、晶体加工、晶片加工、清洗检测和外延片制备等七大关键核心技术体系,覆盖碳化硅材料生产全流程。


来源:天科合达

公司碳化硅粉料纯度高达99.9995%,具有颗粒度均匀等重要优势,公司用此原料生长的碳化硅单晶产品得到行业的高度认可。

03

山东天岳先进材料科技有限公司



天岳先进是全球宽禁带半导体材料行业的领军企业,自成立以来即专注于高品质碳化硅衬底的研发与产业化。天岳先进研制了高真空度的粉料反应腔室,使用了高纯度的石墨材料,设计了特殊反应工艺,从而获得了极高纯度碳化硅粉料颗粒,将粉料中主要电活性杂质浓度控制在0.05ppm以下。

04

合盛硅业股份有限公司



合盛硅业在互动平台表示,公司在碳化硅技术领域已完整掌握了碳化硅材料的原料合成、晶体生长、衬底加工以及晶片外延等全产业链核心工艺技术,突破了关键材料(多孔石墨、涂层材料)和装备的技术壁垒,公司碳化硅产品良率处于国内企业领先水平,在关键技术指标方面已追赶上国际龙头企业水平。

公司在高端碳化硅粉料领域持续深耕,成功开发出可满足半导体、热喷涂、高温结构件等多领域对高纯度、定制化粉体需求的超高纯碳化硅陶瓷粉料及可满足碳化硅宝石晶体和光波导片晶体生长要求的高纯半绝缘碳化硅粉料。

05

河南中宜创芯发展有限公司

河南中宜创芯发展有限公司是由平顶山发展投资控股集团有限公司和中国神马控股集团有限公司共同出资。公司目前已投资建设年产1000吨电子级高纯碳化硅粉体项目(一期),可以实现年产500吨电子级高纯碳化硅粉体。

中宜创芯已与浙江大学杭州国际科创中心、连科半导体有限公司共建碳化硅半导体联合实验室,并与平顶山易成新材料股份有限公司联合建设国家碳化硅微粉CNAS认可实验室和河南省碳化硅功能材料产业研究院,逐步形成了完整的产品质量研发管控体系。通过持续攻关,中宜创芯先后攻克多个行业难题,形成了一批具有核心技术的自主知识产权,综合工艺水平达到国际先进水平,解决了我国碳化硅半导体材料长期依赖进口的难题。

目前,中宜创芯研发的高纯碳化硅粉体纯度已提升至99.9999998%(8N8),产品质量国际领先,尤其适合8英寸、12英寸碳化硅厚单晶晶锭的生长,技术优势明显,可精准匹配新能源汽车、5G通信等战略性新兴产业核心器件的应用需求。


06

绍兴晶彩科技有限公司



绍兴晶彩科技有限公司作为国内可以生产粒度从亚微米级到毫米范围半导体级碳化硅粉料的企业。主营第三代半导体碳化硅单晶专用的多晶粉体、高纯石墨粉、高纯石墨件、高纯石墨毡;半导体制程所需的高精密特种碳化硅陶瓷件专用超高纯粉体;5G领域专用的热管理材料导热填料。


来源:晶彩科技

公司与国内一流高校联合技术攻关,建立了高纯粉末材料研发及检测中心、超高纯碳化硅粉料生产基地。技术研发团队从事人工晶体生长及硅基材料新技术研发近20年,自主研发并攻克原位合成高纯碳化硅多晶粉体技术,获国家发明专利10余项。

07

西安博尔新材料有限责任公司



西安博尔新材料有限责任公司是一家专门从事高品质碳化硅(SiC)微粉和晶须及其下游制品等研发、生产、销售的国家级高新技术企业,自主发明实现工业化生产立方碳化硅(β-SiC)微粉和晶须的专业企业。其中主营产品立方碳化硅经陕西省工信厅及国家工信部批准被纳入重点新材料,广泛应用于半导体芯片、电子封装、高技术陶瓷等领域,公司的SiC微粉在精细分级和表面改性处理等方面也都处于前列水平。


08

山东国晶电子科技有限公司




山东国晶电子科技有限公司成立于2018年,公司引进碳化硅晶体材料领域国际一流专家团队,自主研发AD3S合成法制造5N碳化硅微粉,有效解决了高纯度碳化硅原料量产瓶颈;成功研制6英寸双坩埚碳化硅单晶炉,一台单晶炉同时生长两个晶体为国际首创,填补国内产业链关键设备空白,技术达到国际一流水平。


来源:国晶电子

国晶电子生产的高纯碳化硅粉,使用自创的工艺方法合成,纯度>99.999%,B、Al、P等元素杂质小于1ppm,产品种类包含α相和β相的各种粒径,适用于碳化硅单晶生长原料,半导体设备和LED设备中的精密碳化硅陶瓷部件。

09

鬃晶科技




鬃晶科技成立于2023年6月,2025年10月完成Pre-A轮融资,总部迁至嘉兴桐乡市,注册成立嘉兴鬃晶科技有限公司进行运营。公司拥有一支经验丰富的技术研发团队和产业化团队,与中国科学院重庆绿色智能技术研究院、重庆邮电大学联合攻关,致力于攻克制约我国半导体产业发展的“卡脖子”技术,为全球高端制造与前沿科技提供坚实的材料基石,已形成拥有自主知识产权的碳化硅粉体、碳化硅晶体、金刚石单晶/多晶、金刚石复合热沉材料等产品体系。


来源:鬃晶科技

碳化硅材料领域,公司攻克了高纯粉体合成的核心技术壁垒,重新定义了行业标准。公司的旗舰产品——高纯碳化硅粉体,产品具有超高纯度(99.99999%及以上)、超低含氧量(<0.3wt%)、粒径尺寸均一(从纳米级到微米级精准定制)、晶型一致(3C/4H含量>99.5%)等优势。


10

宁波阿尔法半导体有限公司

宁波阿尔法半导体有限公司是一家专业从事第三代半导体碳化硅材料研发、生产与销售的高新技术企业。公司业务涵盖高纯碳化硅粉料、晶锭、衬底等关键产品。公司成立于2018年,注册资本1亿元,占地105亩,厂房面积达4000平方米。目前,阿尔法半导体已建成6英寸和8英寸碳化硅衬底生产线,并成功开发出12英寸碳化硅衬底生产工艺。

公司α-SiC粉(N型)产品纯度≥6.5N,用于第三代半导体导电型碳化硅单晶的生长,α-SiC粉(半绝缘)产品纯度≥6.5N,用于第三代半导体半绝缘型SiC单晶和莫桑钻宝石晶锭的生长,β-SiC粉(3C)产品纯度≥4N,广泛用于半导体、光伏、军工等碳化硅陶瓷领域。

11

中硅(山东)硅铝新材料有限公司




来源:中硅(山东)硅铝新材料有限公司

中硅(山东)硅铝新材料有限公司成立于2019年,位于山东省济南市。公司经过多年的科研攻关,已经攻克气相法(CVD工艺)批量生产高纯超细碳化硅粉的技术障碍,生产出的碳化硅微粉,属3C相β型,纯度达到4N-6N;颗粒均匀,粒径主要分布在200-1300纳米,形态呈球状。

参考来源:各公司官网、年报、招股说明书等



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