随着 AI 大模型训练与推理需求呈指数级增长,芯片算力密度持续攀升,传统有机封装基板已难以承载高频高速信号传输、高密度互连和高散热的严苛要求。先进封装技术由此成为延续芯片性能提升的核心方向。玻璃通孔(TGV)技术作为玻璃基板产业化落地的 "卡脖子" 关键环节,是实现芯片间高速信号垂直互连的核心技术。
利元亨依托深厚的精密激光加工与运动控制技术积淀,成功攻克超快激光能量调控、高精度轨迹跟踪、玻璃材料改性控制等核心技术难题,自主研发的TGV玻璃通孔激光设备,为国产先进封装技术发展提供了关键装备支撑。
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利元亨TGV玻璃通孔激光设备集成多项前沿技术,在加工精度、效率和材料适配性上实现协同提升,搭载行业领先的超快激光系统,采用固定光路与高精度运动平台协同架构,定位精度严格控制在 ±1.3μm 以内,可稳定适配 0.05-2.1mm 全厚度区间的玻璃基板,加工尺寸支持客户产线定制化需求。
针对玻璃脆性材料加工易产生微裂纹、侧壁粗糙、垂直度偏差等行业共性技术痛点,利元亨采用激光诱导改性结合湿法腐蚀的工艺路线。通过精准调控激光脉冲能量、作用时间与扫描路径,在玻璃内部形成连续均匀的改性区,经后续湿法腐蚀后生成内壁光滑、垂直度优异的通孔,有效保障了加工质量与后续信号传输的可靠性。
利元亨TGV玻璃通孔激光设备集成红外飞秒激光器、贝塞尔光束聚焦系统、高精度真空吸附治具等核心配置,最大能兼容510mm×515mm大尺寸玻璃基板,在万级洁净室环境下稳定运行,可为客户提供从工艺研发、参数优化到小批量试产的全流程技术支持。
未来,利元亨将继续坚守 "技术立业" 初心,持续加大研发投入,深化与产业链上下游的协同创新,为我国先进封装产业的高质量发展贡献力量。
CBIS2026
2026年11月,由【逸飞激光】总冠名,电池中国网主办、深圳中基联合主办的“第十一届动力电池应用国际峰会(CBIS2026)”将在中国上海召开。
本届峰会以“数智创新·协同布局——撬动全球新能源价值链”为主题,将聚焦新能源电池创新技术、创新应用、创新协同发展模式等方向,交流内容涵盖电池技术及工艺革新,相关标准制定,产业链全球化布局及融合、可持续发展等模块。新能源汽车、电动航空、数据中心、人形机器人、电动船舶、AI技术、新型材料、固态电池、钠离子电池等多项议题均在探讨之列。利元亨重点支持本届峰会,敬请期待!
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