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蒸镀设备要7.35亿元!面板大厂拟14.7亿元建12英寸RGB OLEDoS 量产线

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9月16日消息,据韩媒9月15日报道称,三星显示将于本月召开投资审查委员会会议,最终敲定12英寸RGB OLEDoS量产投资方案。该量产项目总投资额预计达3000亿韩元(约 14.7亿元人民币),核心蒸镀设备将由Sunic Systems供应,相关设备投资金额约占总投资额的一半。新项目生产线规划月产能为3000片晶圆,目前生产线选址尚未最终确定,大概率落地A2工厂,该厂区现已布局一条12英寸WOLEDoS生产线,具备相关生产基础。


今年早些时候,三星显示针对Sunic Systems与日本佳能tokki两大厂商的12英寸RGB OLEDoS沉积设备开展了全面对比评估。综合考量设备性能、供货能力及行业配套经验后,三星显示最终选定Sunic Systems的蒸镀设备。

此次采购的Sunic Systems蒸镀设备总价预计为1500亿韩元(约7.35亿元人民币),单价远超常规OLEDoS沉积设备(市场价约400亿至500亿韩元(约1.96 亿~2.45 亿元人民币)),价格达到普通设备的三倍。价差核心原因在于,RGB OLEDoS需要为每个子像素单独成型RGB发光层,对设备的振动控制、掩模与晶圆对准精度提出了极致要求,设备研发与制造难度大幅提升。



项目剩余资金将全部投入上下游配套工序设备采购,涵盖封装、检测、清洗、物流等全流程生产设备。项目实际最终支出将根据设备具体规格、基础设施复用范围灵活调整。按照项目规划,三星显示预计于今年第四季度下达设备订单,待投资审查完成、设备规格、交货周期、检测标准等细节敲定后,正式签署设备采购合同。

量产节奏方面,三星显示计划2027年完成设备进场,2028年正式启动RGB OLEDoS量产。由于设备组装、调试、产线磨合及工艺稳定需要较长周期,整体筹备时长超一年。

OLEDoS是应用于硅基晶圆的微型显示技术,核心是在硅晶片上制备OLED发光层,根据色彩实现方式可分为WOLEDoS(白色有机发光)与RGB OLEDoS两大技术路线。

其中WOLEDoS技术原理为依托白色OLED发光层,搭配彩色滤光片实现RGB色彩显示。该技术无需为单个子像素单独沉积有机材料,大幅降低了沉积工艺难度与掩模对准门槛。目前随着量产技术日趋成熟、供应链体系逐步完善,WOLEDoS已广泛应用于Apple Vision Pro等主流XR(扩展现实)商用设备。但该技术存在明显短板,白光穿透彩色滤光片时会产生光损耗,若通过提升屏幕亮度弥补损耗,会直接增加设备功耗,进而引发屏幕发热、电池续航缩短等问题。

相较之下,RGB OLEDoS技术可直接在每个子像素上沉积RGB三色发光层,无需搭载彩色滤光片,从根源上减少光损耗,在屏幕峰值亮度、发光效率、色彩还原精准度上具备显著优势。

目前RGB发光层成型工艺主要分为掩模式与无掩模式两种,三星显示本次量产项目将采用基于掩模的蒸镀工艺。该工艺技术难度极高,需要在微米级尺寸的子像素上精准成型发光层,生产过程中需反复、高精度完成掩模与晶圆的对位校准。同时,RGB OLEDoS采用叠层发光结构,需要多层堆叠发光层,这就需要配套更多的沉积腔体和传输设备。此外,如何精准控制12英寸整片晶圆生产过程中的掩模下垂、热变形问题,以及把控全域位置偏差、沉积厚度均匀性,都是当前量产落地的核心技术难点。

三星显示自2023年收购美国微型显示器企业eMagin后,便持续深耕RGB OLEDoS技术研发。公开资料显示,eMagin原有8英寸RGB OLEDoS工艺的良率仅维持在20%的较低水平。而本次项目将晶圆尺寸从8英寸升级至12英寸,进一步加大了蒸镀均匀性控制、对位误差管控的难度,因此12英寸工艺的良率提升与稳定,将直接决定三星显示RGB OLEDoS量产进度与实际产能释放规模。

韩国业内人士分析表示:“RGB OLEDoS在亮度、发光效率上的技术优势毋庸置疑,但12英寸晶圆规模化量产技术尚未经过市场验证。未来产线建成后,良率的爬坡速度与稳定效率,将成为决定该技术商业化落地节奏的关键核心。”

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