自对准接触怎样落在栅极旁边还不连到栅极

接触要落到栅极旁边的硅上，又不能碰到栅极。孔只要偏过一截，刻蚀就会打进栅极，两端连在一起。自对准靠栅极顶上的帽和两侧的介质把刻蚀停住。孔可以盖到栅极边上，底下仍然只通到旁边的硅。这一步管的是孔偏了还不短路。不是把孔从介质里一直打到硅上就结束，也不是用两侧介质去把掺杂隔开。

帽要够厚，两侧介质要还在。刻蚀对要挖开的填充介质快，对帽和两侧慢。快慢差不够，孔一压到栅极上就把帽啃穿。差得太大，该通到硅的地方也停住，孔底还是介质。两件事要分开看，不能用一个时间同时迁就。

放行的截面应当是：孔的一侧压在完整的帽上，帽没有洞，孔底通到旁边的硅，硅和栅极之间还隔着介质。帽的顶面可以露在孔壁里，但不能被打穿。只看孔开没开，看不出帽还在不在。

帽若在前面被磨薄，自对准就没有可停的厚度。磨得多的地方先短路，磨得少的地方孔还没开。所以帽的剩余厚度要在开孔之前量。开孔之后才发现帽没了，已经连到栅极，加时间救不回来。

孔偏的方向不同，停住的位置不同。偏到栅极顶上，靠帽。偏到栅极侧面，靠两侧介质。两侧介质若在前面被吃短，侧面就没有可停的墙，孔会从腰上打进栅极。顶上的帽还在，侧面已经穿了。截面要看到侧面，不要只看帽的顶。

密集的栅和孤立的栅，孔吃到的介质厚度不一样。密集处孔更窄，底更难打开，容易停在半路。孤立处帽更暴露，容易被打穿。只剖孤立的大孔，产品里最密的那一组会整组没落到硅。放行要剖最小间距，再看孤立处的帽还完不完整。

两种管子的帽厚度若不一样，同一个刻蚀时间会让一种刚好、另一种打穿。形貌上都有孔，电学上一种开路、一种短路。先核对哪一种管子的帽更薄，不要先把时间统一加长。时间一加，薄的那种先连到栅极。

打穿的孔在截面上能看见帽缺了一块，孔壁直接贴着栅极的侧面或顶面。旁边的硅也许也通了，所以电学上既有接触又有短路，容易被当成接触良好。要单独看帽还有没有连续的一层。帽断了，这片不能往后填。

短路和开路要分开。短路是孔碰到了栅极，电流从栅极走。开路是孔没有落到硅，电流走不到源漏。两种都可能出在同一片的不同位置。只报一个接触电阻，短路的点会被平均掉。抽查要把碰到栅极和没碰到硅分开写。

孔底若留下一层没清掉的介质皮，电学上像没接触，截面上孔是开的，底上却有一条亮线。这和帽把刻蚀停住不同。帽停住是停在栅极上。介质皮是停在该通的硅上。加一点时间能清皮，也会让已经靠着帽的孔开始打穿。所以先看皮在哪。

对准若整片偏一个方向，所有孔都靠向栅极的同一侧。这一侧的帽先被考验，另一侧的硅露得更多。缺陷地图是一条边，不是散点。散点更像帽本身有薄点。整边一起短路，先查对准，不要先改刻蚀配方。

没落到硅上的孔，底是平的介质，下面的硅还埋着，孔壁也不贴栅极。这种孔填进去也是断的。它和打穿相反：一个是挖过了，一个是没挖到。只写一个孔不合格，后面不知道该减时间还是该加时间。

片内分开看三件事：帽有没有被打穿，孔底有没有到硅，对准是整片偏还是局部薄。打穿多半是时间过长或帽太薄。没到硅多半是时间不够或孔太窄。整片偏先查套准。只加时间，已经打穿的位置会更穿。

边缘和中心的刻蚀速率不一样。边缘先打开并开始啃帽，中心的孔底还盖着皮。只看中心，边缘整圈已经短路。只看边缘，中心整圈开路。两边都要剖。中心还有皮、边缘已经打穿，不能用一个时间把两边一起救回来。

栅极拐角比直边更容易被打到。拐角上帽和侧面介质交在一起，停住的厚度最薄。直边合格，拐角已经穿。放行的截面要卡在拐角，不要只卡在直边的正中。

后面若要把孔填实，填实解决不了打穿。金属会顺着打穿的口连到栅极，短路被封在里面。所以打穿必须在填充之前判掉。填充之后才看电学，只能看见短路，看不到口在哪一层。

帽的材料若和孔里的填充介质太像，刻蚀分不开，停住的窗口很窄。换帽或换填充介质之后，先走试验片，把打穿和没开对齐，再锁给整批。只看孔的深度进了带子就放行，帽可能已经薄成一条线。

同一片上横向和纵向的栅，孔靠向的侧面不同。两个方向分开剖。只剖一个方向，另一个方向的打穿会整组漏掉。换版图时若把栅转了向，旧的抽样方向就不能再用。

清腔或换气体之后，对帽的慢速会跳。刚清完的前几片当陪片。同一时间有的帽被啃穿、有的孔底还是皮。按片数清理。清完不跑陪片，第一片正式片最容易一头短路、一头开路。陪片的时间不要写成正式片的目标。

整条链路是：开孔前帽还有足够厚度，刻蚀在帽和两侧停住，孔底通到旁边的硅，拐角也没有打穿，对准没有整边靠死。截面里帽已经缺一块，或者孔底还是介质，就不要送去填充。打穿和没落地要分开报。

陪片如果只看孔的开口大不大，帽的剩余和孔底的皮都会漏掉。开口大只说明顶上挖开了。帽还在不在、硅露没露，要在截面里分开写。开口合格、帽已经穿了，不能按开口放行。

孔若只在栅极的一侧落地，另一侧还压在帽上，这是允许的偏，只要帽没穿。若两侧都没落地，孔悬在介质里，接触是断的。截面要写落地的是哪一侧。只写有没有孔，偏到哪一边看不出来。

填孔之前若先做一次短的清理，清理对帽也是会啃的。清理时间按皮的厚度来，不能按开孔的时间来。清理过了，本来停住的帽会在这一步被打开。开孔合格、清理之后短路，先查清理，不要回头把开孔时间减掉。

同一区域内，靠近栅极拐角的孔和直边旁边的孔要分开抽。拐角先穿，直边还停得住。抽样只抽直边，拐角的短路会整组漏到电学。版图上拐角多的地方，截面必须带上至少一个拐角。

栅极顶上的帽若被磨成两边厚薄不同，厚的一侧停得住，薄的一侧先穿。截面要量帽的左右两边，不要只量中间。中间还在、一侧已经穿，这片不能填孔。薄的那一侧先补厚度，不要先把开孔时间缩短。

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