刻蚀保护怎样让槽只往下走不往两边扩

槽要往下挖，侧壁却不能被一起咬宽。咬宽了，相邻的槽会在中段碰上，上面的口看起来还是分开的。刻蚀的时候侧壁上会留一层很薄的保护，底上的保护被离子清掉，所以底继续往下，壁停住。这一步管的是壁直不直。不是只去掉窗口里该挖的那一层就结束，也不是一次只去掉表面那一层。

保护和往下挖要同时存在。保护太弱，壁被咬成鼓肚，中段比口宽。保护太强，底上也堆住，槽挖不下去，底上长出渣。强弱按这一道要挖的材料和深度来定，不能沿用浅槽的配比。深槽更需要壁上的保护，也更容易在底上堆渣。

保护刚刚好的截面，槽壁是直的，壁上能看见薄薄的一层，底是开的，没有渣，宽度从口到底几乎不变。这层很薄，放大不够就看不见，于是会误以为壁是自己停住的。其实停住是因为这层还在。

这层保护多半是刻蚀过程中生成的，不是事先铺上去的一层。气体和被挖材料反应，产物贴在壁上。气体比例一变，产物或厚或薄。所以改气体就是在改保护，不只是在改挖得快慢。

口上的保护容易被后来的离子打掉，中段的保护若没补上，中段先被咬宽。于是口还是窄的，肚子已经鼓出来。只量口的宽度，中段碰上了也发现不了。截面要看到槽的中段，不要只看开口。

密集的槽之间壁很薄。中段只要鼓出一点，两槽就在硅或介质里连上，版图上它们仍是分开的。孤立的宽槽壁厚，鼓一点也碰不上。只剖孤立的槽，产品里最密的那一组会整组在中段短路。放行剖最小间距，看中段有没有碰上。

保护若在壁上断成一段一段，断的地方被咬出一个个缺口，槽壁不直，像被啃过。这和整体鼓肚不同。鼓肚是整段变宽。缺口是局部的坑。鼓肚多半是保护整体不够。缺口多半是保护没贴连续。

中段被咬宽的槽，截面上口窄、肚子宽，最宽的地方在中部，底有时又收一点。相邻槽若已经在肚子处连上，中间的墙就断了。这种连上在顶视图里往往看不见。没有截面就不能放行。

底上的渣和壁上的保护是同一类东西，位置不同。壁上要有，底上不能有。底上有渣，离子没有把底清开，槽深度停住，渣的样子常常是一根根或一层皮。壁是直的、底有渣，是保护太强，不是挖得不够深那么简单。加挖的功率可能会清渣，也会把壁上的保护打掉，肚子跟着鼓出来。

深度不够有两种：一种是时间不够，底是干净的，只是还没挖到。一种是底被渣堵住，再加时间也挖不快。两种都浅。底干净该加时间。底有渣该减保护，而不是把时间加倍。时间加倍，渣还在，口会先被打宽。

侧壁若本来就是斜的，保护会在斜面上厚薄不匀，陡的地方薄，缓的地方厚。后面就会在薄的地方先咬宽。所以进这一步之前的壁要接近直。壁已经是斜的，不要指望保护把斜壁改直。

底上堆住的渣要和中段的鼓肚放在同一张图里看。渣是底上多出来的东西，槽可能还窄。鼓肚是壁被拿走，中段变宽，底上可以是干净的。只报一个槽不合格，后面不知道该减弱保护还是该加强。渣多，保护过了。肚子鼓，保护不够。

片内分开看三件事：壁上有没有连续的薄层，中段宽没有，底上有没有渣。没有薄层或中段变宽，多半是保护不够。底上有渣，多半是保护太强或离子清底不够。三项里常常两头一起出：边缘渣多，中心肚子鼓。一个配比很难两头都最优，要先看哪一头出了带子。

边缘和中心的气体比例会差一截。边缘保护厚，先堆渣。中心保护薄，先鼓肚。只剖中心，边缘的渣要到深度图才暴露。两边都要看。中心已经鼓肚、边缘堆渣，不能靠加一个功率同时治好。

深宽比大的槽，底上更难清，渣先出在深槽。浅槽的壁更暴露，更容易鼓肚。同一片上深槽和浅槽不能用一个样子放行。放行看最深的槽有没有渣，也看最浅的槽中段宽没有。

换材料之后，生成的保护厚薄会变。挖氧化和挖硅不是同一套配比。沿用上一层的气体，不是壁被咬宽，就是底被渣封死。换材料先走试验片，把中段宽度和底上的渣对齐。

清腔之后，壁上的成膜会跳。刚清完的前几片当陪片。同一配方有的肚子鼓、有的底堆渣。按片数清理。清完不跑陪片，第一片正式片最容易两头超。陪片的配比不要写成正式片的目标。

后面的填充会把鼓肚封在里面。肚子里的空洞或两槽相连，填充之后更难看出来。所以直不直要在填充之前剖。填充之后只看表面平不平，中段相连仍然在。

横向和纵向的槽，离子进去的角度不同，鼓肚和渣的位置会不一样。两个方向分开剖。只剖一个方向，另一个方向的相连会整组漏掉。换版图时若把槽转了向，旧的方向就不能再用。

整条链路是：壁上有连续的薄保护，中段没有鼓出，相邻的槽没有在肚子里碰上，底上没有渣，深度到了。口的宽度合格，中段已经咬宽，或者底上堆着渣，就不要送去填充。鼓肚和渣要分开报。

口宽进了带子，不能代替中段的宽度。很多鼓肚的口是准的，宽在看不见的中部。放行的尺寸要有中段这一项。没有中段数据，就等于没有看保护有没有起作用。

保护层若只贴在槽的上半段，下半段的壁是裸的，肚子会鼓在下半段，口上仍然是直的。截面要看到接近底的那一段壁。只看上半段，会以为保护已经全程都在。

离子能量太大，会把壁上刚生成的保护打掉，底清得很干净，肚子却鼓出来。能量太小，底上清不掉渣，壁倒是直的。能量和气体比例要分开调。只加能量，渣没了，中段会先变宽。

相邻槽在肚子处连上之后，顶上的墙还可以是连着的。顶视图数得出两条槽，截面里中段已经是一个腔。这种暗连最容易漏检。最小间距的槽必须有中段截面，不能用顶视图的两条线代替。

试验片要把最密槽的中段宽度、最深槽的底渣、边缘和中心放在同一张卡上。中段没碰上、底上没有渣、深度到了，这一道才算壁是直的。少一项，鼓肚或渣就会从那一项进到填充里。

出槽之后若把壁上的薄保护清掉，后来的截面就只剩直壁或鼓肚，看不见保护还在不在。要在清掉之前留一张截面。清完再看，只能看见形状，看不见那一层还有没有贴在壁上。

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