中国院长：美国不卖给中国光刻机，等中国搞出来，你想卖我也不要

2023年那会儿，光刻机这件事真让人憋屈。美国一纸禁令下来，ASML的EUV光刻机整机对中国出口全面封死。荷兰工厂仓库里，打包好的设备愣是没法发货，中国企业签好的订单说废就废。华盛顿那边态度很明确：掐死光刻机这根管子，中国想在先进芯片上往前走一步，门都没有。

全球舆论当时几乎站成一排——这下中国芯片真的要歇菜了吧？ASML的CEO克里斯托夫·富凯甚至公开放话，说因为美国禁售EUV光刻设备，中国芯片技术将落后西方十年到十五年。

可后来发生的事，打了太多人的脸。2025年3月27日，清华大学中国经济思想与实践研究院院长李稻葵，受邀出席中国公共外交协会在北京举办的＂临甲7号沙龙＂交流会。五十多家中外媒体记者在场，他说了一句后来传遍全网的话——＂这些限制不可能阻挡中国科技进步，反而可能会促进。＂紧接着他又补了一句更狠的：＂等我们搞出来了，你想卖我也不要了。＂

林楠从前是荷兰ASML公司的研发科学家，在ASML干了多年，连续六年拿过ASML专利奖，对EUV光源技术门儿清。2021年，他作为海外高层次人才回国，落脚中国科学院上海光机所，成立先进光刻技术研究组，开始啃最硬的一块骨头——EUV光源。

EUV光源有多重要？过去全世界的EUV光刻机光源，几乎全靠美国Cymer公司垄断。它用的是CO₂激光系统，价格贵得离谱，交货周期动不动一年以上，而且已经被美国列入＂不可出口＂类别。

买不到，就只能自己造。林楠团队走了一条全新的路——放弃CO₂激光，改用1μm固体脉冲激光器驱动。2025年4月29日，上海光机所宣布完成国产EUV光源关键突破，转换效率（CE）最高达到3.42%，超过了荷兰与瑞士研究团队的水平。

虽然距离商用标准5.5%还有距离，但团队预估理论最大转换效率可能接近6%。这意味着，核心光源这一关，我们不再被人拿捏了。从0到1，这一步迈出去，后面的路就活了。

2025年8月，杭州城西科创大走廊，浙江大学成果转化基地里，全国首台国产商业电子束光刻机＂羲之＂正式亮相，进入客户应用测试。精度0.6纳米，线宽8纳米，不需要掩膜版，电子束直接在硅片上＂手写＂电路。名字取得讲究——王羲之用毛笔写字，＂羲之＂用电子束写芯片。

这台设备由浙大余杭量子研究院自主研发，专门服务量子芯片与新型半导体研发。以前这类设备受出口管制，国内顶尖机构想买都买不到，只能干瞪眼。＂羲之＂的出现，直接补上了这个缺口。

当然得实话实说。电子束光刻机跟EUV比起来，速度差太远——光学光刻机一小时处理几十片甚至上百片晶圆，电子束光刻的效率差了将近三个数量级。它不是EUV的替代品，更适合做研发阶段的原型验证与小批量调试。但问题是，以前连做研发都没趁手工具，现在终于有了自己的家伙事儿。

2025年8月初，璞璘科技成功交付中国首台半导体级步进式纳米压印光刻系统，支持线宽小于10nm。这东西的原理跟盖章差不多——把图案直接压到晶圆上，不用复杂光源，成本低，能耗也低。在线宽指标上，已经超过了日本佳能同类设备14nm的水平。

虽然纳米压印在量产速度上还比不过光刻技术，但在存储芯片以及先进封装领域，它已经具备了实打实的应用潜力。

三条技术路线，三个方向同时发力。上海攻光源，杭州搞电子束，璞璘做纳米压印。没有人傻乎乎地去照搬ASML的路线，而是各找各的突破口。

那美国这边呢？2024年11月应用材料公司公布了第四财季财报。数据很有意思——来自中国大陆的销售额同比下降28%至21.4亿美元，占总营收比例从44%掉到30%。不是他们产品卖不动了，是自己把市场让出去了。

到了2025年第三财季，中国区营收占比回到35%，但公司内部预计，中国业务的下降趋势还会持续好几个季度。

ASML那边的数据也挺微妙。2024年，ASML向中国大陆交付了大约150台光刻机，中国大陆的销售额占ASML整体比重升到46%。但这些全是DUV设备——EUV已经一台都卖不了了。等到国产DUV逐步成熟，连这块蛋糕也未必保得住。

2025年5月16日，新华社发了一篇评论，标题直截了当——＂美国低估了中国，高估了自己。＂文章说得很清楚：用非市场手段切断合作，结果是供应链混乱、标准割裂、企业失去全周期客户。美国想用＂断供＂来掐住中国，却没想到，断供本身反而成了最大的催化剂。

李稻葵还说过一句话，我觉得特别到位：＂以前用别人的，就不想做自己的；现在不能用了，反而逼出真正的动力。＂这话可能放在两年前说，很多人会觉得是嘴硬。但放在今天，上海光机所的EUV光源数据摆在那里，＂羲之＂的测试报告摆在那里，璞璘科技的交付记录摆在那里——每一项都是白纸黑字，不是口号。

半导体这场仗远没有打完。EUV整机量产还有很长的路要走，产业链上的短板也不可能一夜之间全部补齐。谁要是跟你说中国光刻机已经全面赶超，那是吹牛。但方向已经不可逆了——当买家被逼成制造商，卖家的日子就不好过了。

ASML的CFO也承认，中国确实有可能造出EUV光源。他说的是＂还需要很多年＂，可＂很多年＂这个词在2023年说出来，大家默认是十年。两年过去，阶段性成果一个接一个地冒头，谁还敢拍胸脯说剩下的时间一定够用？市场从来不讲感情。