广东
8. 芯源微
主营业务：涂胶显影设备、清洗设备、喷胶机及高端封装设备。
核心亮点：北方华创通过收购其17.87%股权并获得董事会多数席位，成为其第一大股东，旨在完成湿法工艺生态圈建设，实现优势互补。
最新进展：已正式成为北方华创关键生态一员，其前道涂胶显影机等核心产品获得了更强的产业链协同优势及客户导入机会。
7. 屹唐股份
主营业务：干法去胶设备、快速热处理设备及干法刻蚀设备。
核心亮点：干法去胶设备占据全球领先地位，帮助客户提升良率并增加产出。
最新进展：2025年实现营收10.37亿元，公司在新产品研发和市场拓展上持续发力。
6. 中科飞测
主营业务：集成电路质量控制（检测和量测）设备。
核心亮点：2025年营收20.53亿元，同比增长48.75%，归母净利润成功扭亏为盈。
最新进展：公司仍在快速成长，最新系列产品收入贡献提升，推动订单与营收持续增长。
5. 盛美上海
主营业务：半导体清洗设备、电镀及先进封装湿法设备龙头。
核心亮点：清洗设备市占率全球第四，电镀设备全球第三，差异化技术路径清晰。2025年总营收67.86亿元，同比增长20.80%。进入2026年，接连斩获全球多家头部客户的先进封装设备订单。
最新进展：首台12英寸单片清洗设备成功交付新加坡晶圆代工厂，是其全球化布局的关键一步。持续保持18.49%的高强度研发投入，巩固差异化竞争优势。
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4. 华海清科
主营业务：化学机械抛光（CMP）设备绝对龙头，正向减薄、离子注入等设备拓展。
核心亮点：CMP装备第1000台成功出机，占国产份额超90%。12英寸减薄机和离子注入机已向存储龙头批量交付，Versatile–GP300累计出货突破20台，并获重复订单。
最新进展：发力先进制程节点工艺验证与HBM三维堆叠等技术。
3. 拓荆科技
主营业务：专注于PECVD、ALD、SACVD等薄膜沉积设备及混合键合设备。
核心亮点：2026年Q1归母净利润同比暴涨488.29%，均创历史新高。PECVD收入同比增长75.27%，ALD收入同比大增191.82%；大基金三期首个产业项目即瞄准其三维集成设备。
最新进展：46亿元定增项目获上交所通过，将大幅提升薄膜沉积设备年产能。多款设备已在先进制程领域获客户验收。
2. 中微公司
主营业务：以等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备为核心的两大关键工艺龙头。
核心亮点：2025年实现营收123.85亿元，同比增长36.62%；刻蚀设备年付运超1000个反应台，累计超5000台，实现超高深宽比（60:1）刻蚀工艺量产；被239家机构调研，Q1归母净利润同比暴涨197.20%创历史新高。
最新进展：已获批以15.8亿元收购杭州众硅64.69%股权，补齐CMP湿法设备短板，实现“干法+湿法”工艺全覆盖。旗下CuBS PVD多腔集成等新设备亦获头部客户量产验证。
1. 北方华创
主营业务：覆盖刻蚀、薄膜、热处理、清洗等核心工艺的半导体设备平台型龙头。
核心亮点：国内规模最大、品类最全的半导体设备龙头。通过收购芯源微（涂胶显影）、国泰真空等企业，显著增强了在涂胶显影、高端镀膜等关键环节的平台化协同能力。2025年实现营收103.23亿元，同比增长25.80%，Q1研发投入达14.02亿元。其高端刻蚀设备深度聚焦先进逻辑和存储工艺。
最新进展：公司预计2026年全年关联方销售额达37.5亿元，同比大增217%，显示出强劲的业务增长预期。旗下全新平台化刻蚀设备也已在SEMICON China 2026展会亮相。
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