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存储芯片材料大变革:300层以上NAND必须“由钨转钼”

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最近半导体行业又抛出一个足以改写闪存赛道格局的重磅信号。

存储芯片的技术迭代,正在从大家看得见的层数竞赛,转向看不见的底层材料革命。

近日,半导体研究机构SemiAnalysis指出,当3D NAND闪存堆叠叠层数提升存储密度。从100多层走到200多层,钨作为字线材料表现稳定,支撑了一代代闪存产品落地。但当堆叠向着300层、400层迈进,芯片内部的“垂直高楼”越盖越高,钨材料的短板被彻底放大,暴露出三大无法回避的硬缺陷。

首先是电阻问题,层数拉高之后,字线走线长度大幅增加,钨的电阻随之飙升,直接拖慢了芯片读写速度;其次,钨工艺依赖氟基化学制程,容易带来漏电风险,威胁芯片稳定性;再则,面对超高深宽比的深孔结构,钨很难实现良好填充,直接制约了产品良率提升。

这三重物理瓶颈叠加,单纯依靠工艺微调已经很难突破天花板。而钼的出现,刚好精准对应解决钨的三大痛点:更低的电阻,可以带来更快的读写性能,适配AI时代对高速存储的需求;制程上不再需要氟基化学工艺,规避漏电隐患;同时在高深宽比的孔洞结构中,钼拥有更优秀的填充能力,保障超高堆叠结构的制造可行性。也正因如此,SemiAnalysis直言,钼不是锦上添花的改良方案,而是300层以上3D NAND绕不开的技术路径。



从当前全球各家厂商的量产现状来看,行业主力产能依旧停留在200多层区间。铠侠与闪迪做到218层,美光276层,三星286层,SK海力士以321层的产品站在行业最前沿。但行业向300层以上跃迁的拐点已经到来,材料的迭代会成为这次升级的核心底座。机构预测,钼工艺在NAND总产能中的占比,将从2025年的中个位数,快速攀升至2027年的30%,渗透速度会持续加快。

各大存储大厂的技术路线和落地时间表也已十分清晰:三星是这场变革的先行者,钼字线产品已于2024年实现量产;美光紧随其后,2025年依托泛林集团ALTUS Halo设备开启大规模量产;SK海力士则计划2026年底推出375层采用钼工艺的NAND产品。这些头部厂商集体押注钼工艺,意味着“钨转钼”已经从技术研究,正式走向大规模商业化落地阶段。

然而,材料的切换必然会带动上游设备市场的巨大增量。钨与钼的制程差异巨大,想要实现钼的薄膜沉积,就需要全新的沉积设备。据SemiAnalysis测算,仅2027年,NAND对应的钼沉积设备市场销售额就将突破10亿美元。后续随着DRAM、逻辑芯片也逐步导入钼相关工艺,到2030年整体市场规模有望达到每年20亿美元级别。

在设备受益格局上,泛林集团将最先吃到NAND钼工艺切换带来的红利;东京电子紧随其后;而应用材料、ASMI以及国内设备厂商北方华创,更多的机会将来自后续DRAM、逻辑芯片的工艺转型浪潮。这一轮存储材料变革,也给国内半导体设备企业带来新的产业机遇。



存储芯片是AI算力产业链的重要底座,AI大模型、海量数据存储需求,持续倒逼3D NAND向着更高堆叠层数前进。而“由钨转钼”这一场底层材料的变革,正是支撑闪存继续向上突破的关键基石。

这场变革也告诉我们,芯片产业的进步,不只是芯片参数数字的提升,很多时候,一种金属材料的迭代,就可以打开整个行业新的成长天花板。未来2-3年,钼工艺的产能占比会持续提升,整个存储产业链都将迎来一轮新的重构。

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