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EQE峰值超20%,美国开发5μm红光InGaN Micro LED

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近日,美国半导体企业Ingantec Corporation宣布,在红光氮化铟镓(InGaN)Micro LED技术上取得关键突破,公司基于常规c面外延结构制备的5微米级红光InGaN Micro LED,峰值外量子效率(EQE)超过20%,发光波长约625nm。

长期以来,红光InGaN器件的效率与波长稳定性难以兼顾。根源在于为获得红光,需大幅提高外延层中的铟含量,而高铟会引入晶格应变与缺陷,进而诱发载流子局域化和量子限制斯塔克效应(QCSE),最终导致效率衰减和明显的电流漂移。

对此,Ingantec依托其专有的"光谱稳定红"(SSR)技术,并与加州大学圣巴巴拉分校(UCSB)合作开发外延与应变工程方法,使器件在4~5 A/cm²电流密度下达到峰值效率,且该电流密度恰好对应其最红发光状态;在40~140 A/cm²的高电流区间,效率仍能维持在5%~8%,可满足高亮度显示需求。

尤为难得的是其波长稳定性,随着驱动电流增大,器件发光波长先略微向长波方向移动(红移),在峰值效率处达到最红发光状态。此后,即便电流继续攀升至百倍量级,波长也仅向短波方向缓慢回移(蓝移),整体光谱漂移幅度小且可控,显色一致性远优于常规红光InGaN器件。

与量子点、纳米线、纳米锥或光子晶体路线不同,Ingantec采用常规平面InGaN架构,为晶圆级量产及与蓝、绿光InGaN器件的单片集成提供了可行路径。高性能原生红光InGaN若成熟落地,可摆脱异质红光外延及巨量转移环节的复杂工艺,减轻显示驱动CMOS的色偏补偿负担,对单片全彩RGB Micro LED微显示意义重大。

面向AR/MR显示、车载HUD、移动设备、高亮微显示及医疗诊断等场景,目前Ingantec已实现4英寸蓝宝石衬底InGaN外延片上数亿颗红光发光单元的制备,并向显示厂商、代工厂、背板开发商及先进封装伙伴开放合作。

Ingantec成立于2022年,由前苹果、富士康高管与威斯康星大学麦迪逊分校学者联合创立,专注III族氮化物材料与器件技术。 Ingantec目标是单片全彩RGB Micro LED技术,绕过低良率、高成本的巨量转移工序。

LEDinside整理


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