湖南
中国存量光克机知多少？
外媒报道：2026年9月26日，引述西大华盛顿智库：科技与国家治理能力中心Centre for Technology & Statecraft (CTS) 发布的报告称：中国大陆正在囤积浸没式深紫外DUV光克机。
该报告由西大前出口管制官员布朗（Nicholas Brown）与曾任白宫和西大商务部科技政策顾问的卡汉（Saif M. Khan）共同撰写。
由于西大联合本子、低地进行的三国杀制裁（详见拙文：，和），大陆芯片制造商无法取得ASML最先进的极紫外（EUV）曝光机，因此只能高度依赖仍可获准出口的浸润式DUV设备生产先进半导体。 这些设备中的大多数，可用于生产先进人工智能（AI）芯片。
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兵器迷注：2024年开始，ASML已经无法向大陆发运NXT：2000i及以上浸润式设备的出口许可证；甚至有些大陆芯片制造晶圆厂，已经无法获得NXT：1970i和NXT：1980i浸润式设备的许可证了。
CTS估计ASML拥有约99%的DUVi市场份额
兵器迷注，除了ASML外，日本的佳能公司也能生产浸没式DUV。
CTS估计，中国自有晶圆厂的浸没式DUV光刻设备，包括大约：
270台ASML NXT:1980i光克机
22台NXT:2050i光克机
6台NXT:2100i光克机
45台较低端的DUVi光刻系统
合计为343台。这些设备中，最重要的，就是荷兰ASML的NXT:1980i浸没式光克机。
兵器迷注：
NXT:1980i是ASML于2015年推出的浸没式光刻产品，用于10纳米制程的生产，产能为275片12英寸晶圆/小时WPH。作为10-14nm光刻的入门机型，经技术手段调整后，NXT:1980i可以用于制造7纳米级逻辑芯片及HBM2、HBM2e高宽带存储芯片。该机型后来升级到NXT:1980Fi，采用1.35NA的投影透镜的数值孔径，产能能升级到330WPH, 提供 38 纳米分辨率、2.5 纳米套刻精度。
外媒认为，NXT:1980i也能生产某厂升腾系列AI芯片—— 具备充足配套制造设备的大陆晶圆厂，用一台NXT：1980i，每年可能支持生产超过10万颗升腾910C芯片。
报告称：大陆在2010年代末开始进口NXT：1980i浸没式DUV光克机，并在荷兰政府2023年宣布限制更先进浸润式DUV设备出口后，加快采购和囤积NXT：1980i——大陆晶圆厂2024年及2025年分别进口约90台及89台NXT：1980i。这两年间，为此设备的购买支出，超过了130亿美元。
CTS报告预估，截至2026年第一季度，大陆自有晶圆厂已累计进口343台浸润式深紫外（DUV）设备。到2026年3月，报告估计大陆自有晶圆厂，加上在大陆的外企晶圆厂拥有的该型设备，达到396台。该数据的统计估算偏差在361-444台之间。
报告呼吁：西大及盟友，应对全面禁止向大陆出口浸润式DUV设备，并收紧备件供应及维修服务管制。 若盟友无法达成禁令，西大可运用外国直接产品规则等工具，将相关外国制造设备纳入出口管制。
兵器迷注：大陆业内，已经对无法获得浸润式DUV光克机的局面，进行了多次行业推演，制定了应对策略，管理部门也对报复措施进行了多方案的制定。对于整机禁止对我出口，已经大致有底了。
问题在于，这300+存量光克机的软件升级和零备件供应，事关现有芯片连续性生产，仍然是一个很大的隐患。对此，低地方面曾经与我国达成了一个非常有效的协议。如果这份协议还能再次签署或延期一次，则对此问题就有几年时间的缓冲。让我们拭目以待吧。
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