你敢信吗,ASML拼了老命卡我们芯片脖子,结果反倒把我们逼得EUV核心部件国产化率干到90%,现在连欧洲自己的供应链都被稀土拿捏得死死的。这场半导体博弈,早就不是ASML一开始预想的模样。
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今年10月的上海工博会上,朗道燧岩公开展出了EUV光源系统样机,现场直接披露国产化率已经达到90%。这套光源走的是当下主流的LPP技术路线,靠高功率激光轰击锡滴产生13.5纳米极紫外光,正好符合EUV光刻机的核心需求。很多人不懂一个光源为啥能让ASML坐不住,其实光源就是EUV光刻机的心脏,没有稳定强大的光源,其他零件再先进也发挥不了作用。
咱得实诚说,现在就宣称我们造好完整的EUV光刻机还太早,进度没那么快。目前只是做出了样机,离真正量产商用,大概还有三到五年的攻坚期。现在最大的难点,就是输出功率和长时间运行的稳定性,商用设备得连轴转,还得把功率波动控制在极小范围,不是点亮几分钟就算成功的。
但这一步跨出去,意义完全不一样了。之前行业里争论的是中国能不能走通EUV这条技术路线,现在所有人问的都是中国多久能把它做到工业级量产。就这一个问题的变化,已经足够让ASML彻夜难眠。
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我们也没把全部希望都压在EUV这一条路上,毕竟EUV要等,这几年总得先解决眼前的需求。我们之前已经进口了相当数量ASML的浸没式DUV设备,虽然DUV本身不适合直接冲击最先进制程,可靠着多重曝光和工艺优化,照样能把制程往更先进推进。哪怕代价是成本上涨、良率控制难度变大,至少解决了没EUV就只能原地踏步的难题。
有意思的是,现在ASML自己第一个站出来反对美国进一步收紧DUV的对华限制。今年10月ASML的首席财务官公开说了,限制再升级结果只会适得其反,反倒会加快中国开发出自己的竞争性技术。做企业的哪有不懂这个道理的,真把客户逼得彻底买不到货,人家只能下场自己造,哪还有你的生意做。
除了用DUV稳住当下,我们还开了纳米压印的新赛道。这个技术的思路和传统光刻不太一样,更像盖章,直接把纳米级图形复制到材料表面,设备复杂度和部分制造成本都有机会大幅下降。目前它虽然还有良率、模板寿命、缺陷控制这些难题待解,先进逻辑芯片领域还没法替代EUV,可多一条路线就多一分破局的可能。
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三条路线同时推进已经够ASML头疼了,这边稀土反制一出,欧洲自己先漏了供应链的大破绽。之前欧盟推出新一轮对俄制裁,还把部分中国企业列入限制名单,我们随后把14家欧洲实体纳入出口管制,里面就有一家叫辛德豪瑟的德国小企业。这家公司名气不大,可它偏偏在ASML的供应链里,做精密制造和先进涂层材料,还高度依赖中国的稀土供应。
供应受限之后,这家企业直接撑不住,说要是断供持续,几个月内就没法继续经营。它一垮直接影响ASML的整条供应链,这下欧盟彻底慌了。现在欧盟主动找中方商谈,打算用解除一家中国企业的限制,换我们调整对辛德豪瑟的管制,这事也已经在双边经贸磋商中讨论过了。
这件事看着只是一家小企业的危机,其实戳破了高端制造业藏了很久的窗户纸。再先进的设备也不可能凭空造出来,ASML的光刻机由几万个复杂零部件和特种材料组成,哪怕一个不起眼的环节断供,都能影响整台机器的生产。原来大家都在说ASML卡中国半导体的脖子,现在才发现,欧洲ASML的供应链,早就离不开中国的关键材料。
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ASML现在的业绩其实还很好看,第三季度净销售额达到117亿欧元,光刻机出货量也从上季度的86台升到113台,目前的领先优势还是很明显的,咱也不吹牛皮说马上就能取代它。可实打实的变化已经发生了,之前多半是我们担心ASML不卖设备,现在ASML自己都公开担心,啥都不卖的话,中国会更快造出替代品。
原来欧洲觉得自己攥着设备优势就能拿捏我们,现在自己的供应链出问题,反过来要求我们网开一面。技术封锁本来就是一把没法稳拿的双刃剑,短期确实能给对手制造麻烦,时间拉长了一切都会变。原来想买设备的客户,被逼久了就会变成你的竞争对手,原来没当回事的供应链软肋,慢慢就成了对手能拿捏的地方。
再过三五年我们的EUV光源能走到哪一步,现在谁也没法打包票。但有一件事已经越来越清楚,我们多路线推进国产替代之后,早就不是那个只能看ASML脸色吃饭的玩家了。未来ASML哪怕想卖设备,我们也在一步步降低依赖,它面对的早就不是原来那个市场了。
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辛德豪瑟的遭遇也给欧洲提了个醒,卡脖子从来都不是单向的。你限制我买先进设备,又离不开我的关键材料,最后这场半导体博弈比的不只是ASML还能领先多少年,更是谁能先补上自己供应链的软肋。
参考资料:环球时报 中国半导体国产替代与稀土反制新动态
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