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只差光刻技术了!日媒:中国将成日荷后第三个造出光刻机的国家

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一台光刻机有多重?大约180吨。卖多少钱?约1.15亿美元。运它得出动好几架波音747。这就是荷兰阿斯麦造的极紫外光刻机,业内公认的人类有史以来最复杂的机器。华尔街日报周末发了篇长文,把围绕它的三方角力捋了一遍:中国特别想要,荷兰特别想卖,美国则极限施压,死活不让卖。


阿斯麦极紫外光刻机洁净车间

这东西卡在芯片制造最关键的一环上。只要拿不到阿斯麦的极紫外光刻机,国产光刻机没追上来之前,中国境内的芯片厂就没法独立造出先进制程芯片。全球高端光刻机市场基本被荷兰阿斯麦、日本尼康和佳能三家分了,而极紫外这一块,阿斯麦几乎是独一份。一台机器背后是全球五千多家零部件供应商,牵扯约两万家企业才拼得起来,这种密度在工业史上没有先例。


芯片电路板特写

中国为啥这么急?说白了是为了华为。中美科技战把华为最先进的芯片供应链切断之后,华为的5G高端手机已经基本掉出全球前六。任正非那句我们什么都有,一度让人以为华为真有后手,可现实是高端手机业务一步步失守,华为转头去造车、养猪、搞云业务。

差距得摆到桌面上看。中国国产光刻机目前只能稳定做90纳米级,日本能到14纳米。中国第一台用193纳米光源的浸没式光刻机正在安装调试,理论上有望用于28纳米芯片,可这一级别要的大量软件和配套技术还攥在美国手里。阿斯麦对华出货的主力是DUV机型,这个出口本身不用美国点头。


荷兰首相吕特与美国总统拜登会晤

有意思的是日媒的态度反而积极。《日经亚洲》直言,中国正在加速追赶,日本和荷兰企业的焦虑在上升。报道判断,西方封锁反而成了中国自研最大的外力,在量测、薄膜沉积、蚀刻这些环节中国已经陆续冒头,整条链上真正缺的就剩光刻这一道。按这个说法,中国有可能继日本、荷兰之后,成为第三个真正造出光刻机的国家。


中美荷日四方博弈示意图

可能不能追上,内部看法分成两派。乐观派说,28纳米以下芯片占了全球八成以上,一旦中国把28纳米全产业链跑通,先扛不住的反倒是阿斯麦。悲观派更结构性:光刻机是两万家公司的部件拼出来的,不是砸钱就能复制。光刻胶被日本垄断,高端机床在瑞士,设计软件被美国三家公司攥着,极紫外光源来自美国,整机还靠云端控制,理论上一秒就能全停。中芯国际现在能稳定量产的工艺离先进制程还差得远,想一下跳到14纳米甚至7纳米,几乎不现实。


美国制造与中国制造芯片对比

日媒说的时间问题,不等于短期能解开。与其纠结两年还是五年,不如正视一个现实:芯片战的胜负,在于能不能先在28纳米这个节点把产业链站稳,而不是急着在PPT上刻出5纳米。对中国来说,这道考题近乎生死攸关,封锁之下留的侥幸空间不多,剩下的路只有把每一环都做扎实。


晶圆检测设备

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