上海
《科创板日报》10月29日讯（记者 陈俊清） 半导体设备零部件龙头富创精密今日（10月29日）举行2026年第三季度业绩说明会。
数据显示，富创精密第三季度营业收入为14.82亿元，同比增长47.31%；归母净利润为9902.15万元，同比增长292.82%，环比增长29%。前三季度营业收入为38.00亿元，同比增长39.19%；归母净利润为2.33亿元，同比增长522.10%。
富创精密董事长郑广文表示，2026年前三个季度公司已经实现收入利润大幅改善，规模效应、费用管控成效已经显现。从前三季度经营态势、在手订单情况来看，公司具备较好基础，对全年经营保持信心。
作为半导体设备精密零部件厂商，富创精密订单滚动节奏快于整机设备企业。富创精密董事会秘书郎羽表示，随着AI催生的全新市场需求，国内半导体设备国产化率持续提升以及下游晶圆厂持续扩产，行业整体需求快速释放、头部设备厂商订单规模显著增长。从前三季度经营情况看，下游需求红利已经在公司业务端体现，订单向营收转化效率提升。
零部件本土替代方面，郑广文披露了产品进展。据其介绍，富创精密已完成多款高度集成化新型匀气盘产品研发落地，产品适配先进逻辑、先进存储产线的刻蚀、薄膜沉积等核心化学反应工序，并实现小规模化量产。静电卡盘方面，相关产品完成国内部分设备厂商验证并实现国产化替代；金属加热盘方面，产品通过多家国内外头部设备厂商认证。
产能方面，富创精密在国内已建成沈阳、南通、北京三大核心生产基地，整体规划年产值超60亿元。
业绩会上，郑广文表示，南通及北京等各基地持续产能爬坡，前期新基地投产初期产能利用率偏低属于阶段性特征。随着订单逐步增加，前三季度产能利用率改善，规模效应进一步显现。
研发方面，富创精密前三季度研发投入同比增长约三成。郑广文表示，公司聚焦精密机械制造、表面处理特种工艺、精密焊接工艺、气体传输系统四大技术；加大匀气盘、特殊涂层、加热盘、静电卡盘及阀门五大专项研发力度，持续增加核心技术研发、迭代及产业化落地投入。
产业链布局上，富创精密今年五月披露拟收购上海日扬部分股权。公告显示，公司拟以现金方式收购日扬科技股份有限公司设立的BVI公司旗下HIGHLIGHTTECHINTERNATIONALCORP.持有的上海日扬65%的股权，交易对价为1.89亿元。
对此，郑广文表示，上海日扬地处上海宝山区高新园核心区域，主要从事生产真空腔体、真空阀、真空零组件及尾气处理设备，产品广泛应用于半导体、太阳能光伏、科研、面板产业。本次收购是公司完善半导体产业链布局的举措，公司将切入半导体真空阀核心赛道，丰富产品矩阵与市场布局；同时借助标的公司技术、市场资源，提升公司在半导体先进技术领域的研发效率与成果转化能力，发挥业务协同效应。
目前国内半导体设备零部件整体国产化率依旧处于较低水平，郑广文认为中国大陆已是全球半导体产业核心增长引擎，先进制程迭代带来长期机遇，公司将持续加码高端零部件研发与产业化，持续推进半导体零部件国产替代进程。
（科创板日报记者 陈俊清）
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