新品首发｜格蓝若新主动减振产品亮相 CSEAC，减振-运控协同破解高精密制造难题

从摩尔定律到韬(τ)定律，半导体产业完成由“几何缩微”向“时间缩微”的范式切换。摩尔定律持续推动半导体制程与超精密光学技术协同演进，带动前道工艺、先进封装、微纳光学加工不断革新；在后摩尔时代，韬定律以全链路时延优化为核心，驱动3D堆叠、Chiplet、混合键合等技术快速落地，也对精密装备的底层稳定性与运动控制能力提出更高标准。

多数设备厂商聚焦光学、工艺与结构研发，往往忽略振动抑制、精密运动控制两大底层核心。环境1-5Hz低频振动，不仅造成晶圆对位偏差、良率下降，还会引发光学设备成像模糊、微纳加工精度偏移等问题；传统被动隔振、气浮平台存在固有短板，无法适配先进制程与高端光学装备的严苛标准。同时，纳米/微米级精密运动控制尚存诸多挑战：高速抖动、多轴联动同步精度不足、海外控制器交付周期漫长。振动扰动与定位误差相互耦合，大幅提高了装备研发与量产成本，成为规模化量产的隐形瓶颈。

第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC2026）即将于8月31日9月2日，在无锡太湖国际博览中心盛大启幕。作为国内半导体设备与核心部件领域风向标展会，聚焦设备零部件国产化、先进封装、量检测设备等产业热点。格蓝若精密将携国产自研主动减振系统、精密运动控制系统等多系列产品亮相展会，带来减振-运动控制协同优化完整解决方案，与行业同仁共同探讨国产精密零部件的落地路径。

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主动减振系统：多元产品矩阵，赋能精密制造

格蓝若深耕高端精密装备底层减振领域，产品可实现0.5Hz以下的超低起始隔振，规避固有频率处振动放大问题，突破行业长期存在的共振峰抑制与低频隔振难以兼顾的痛点，整体性能跻身国际第一梯队，可全面替代海外主流品牌，实现高端减振产品国产化替代，补齐国内高端主动减振领域技术短板。

公司搭建完备的主动减振产品矩阵，拥有SFV、SFN、SFT、SST 等分腿系列及 PAD、FSD 一体式减振平台，合计60余款标准化与定制化产品，兼顾标准化现货选型与项目专属定制。产品具备优异的全频段振动与冲击抑制能力，有效解决振动引起的晶圆对位偏差、光学成像模糊、微纳加工精度偏移等行业难题。部分客户场景下，整定时间可控制在50毫秒以内，远优于被动减振数秒至数十秒的整定时间，大幅提高生产效率。同时根据不同复杂工况，支持集群布局、大跨度、两级减振、真空工作环境等工程方案，负载覆盖从公斤级至百吨级，充分满足半导体设备、高端精密光学仪器的纳米级稳定工况要求。

格蓝若主动减振产品已实现800余套批量稳定交付，历经大量场景严苛验证。目前已深度服务国内百余家行业头部企业，广泛应用于半导体、电子显微镜、精密光学仪器、激光加工、高端数控机床、航空航天等核心领域，全方位保障各类微振动敏感精密装备的稳态运行，成功实现高端主动减振核心部件的国产化自主可控。

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重磅首发｜SFE、SFL 气浮型主动减振全新系列

本次CSEAC 展会，格蓝若还将展出两款全新气浮型主动减振产品 SFE、SFL系列，这是公司在微振动主动抑制领域的全新产品序列，进一步拓展气浮架构主动减振的应用边界。

SFE 系列主动减振性能显著优于传统被动减振方案，能有效缩短系统稳定收敛时长，大幅压缩测试待机周期。产品既可满足光学加工、精密测量装备对于静态稳定性的极致严苛诉求，亦能适配大型主动隔振地基等高负载、大尺度工程应用场景。

SFL 系列实现起始低至1Hz的宽频减振能力，可直接替代行业主流被动阻尼台、气浮隔振平台，从根源规避共振扰动，为各类精密装备与测试平台构筑高可靠稳态运行基底。

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运动控制系统：纳米级运动控制，做强国产底层

格蓝若布局高端精密运动控制系统赛道。面向半导体设备、超精密机床、激光加工、微纳制造等高端精密制造场景，对设备运动定位精度、多轴协同效率有着极致严苛的要求。当前行业普遍面临诸多技术痛点：高速运动偏差、多轴联动不同步、摩擦与间隙引发动态误差等问题，直接导致设备稳定性差、工艺重复性不足、生产节拍受限，同时大幅提升整机研发、调试与运维成本。

长期以来，国内高端精密运动控制核心技术与市场被海外品牌垄断，存在交付周期长、定制化响应滞后、技术适配不足等短板，严重制约了国内高端装备的迭代升级步伐。立足高端精密运动控制系统赛道，格蓝若全力突破技术壁垒，对标国际一线梯队，打造国产化高端运动控制解决方案，打破海外技术垄断格局。

依托自主研发的高阶控制架构，运动控制系统可实现纳米级定位精度、纳秒级多轴同步核心能力，可高效抑制设备运动扰动，精准补偿摩擦、间隙及外部环境带来的动态误差，从根源上解决精密制造的精度偏差难题。同时兼顾轻量化调试体验与全场景硬件适配性，大幅降低整机联调与研发门槛，助力企业降本提效。

目前，格蓝若已搭建完善的全品类运动控制产品矩阵，涵盖SAC、SUC驱控一体控制器，SIC独立式运动控制器，多系列PWM驱动器、高性能线性驱动器及纳米精度运动控制系统等20余款核心产品，可全方位满足通用化、高端定制化多层次市场需求。产品深度适配半导体全产业链超精密装备，同时广泛落地激光加工、高端数控机床等高端制造领域，在极致保障超高控制精度与设备稳定性的基础上，持续优化设备运行节拍，实现精度、稳定性、生产效率三重协同升级。

以硬核自研技术、高可靠国产化方案、高适配产品体系，格蓝若持续赋能国内高端装备产业自主可控、迭代升级，助力中国高端精密制造迈向更高精度、更高水准！

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差异化核心亮点：减振与运动控制协同优化

格蓝若精密深度融合主动减振与精密运动控制，打造一体化整体解决方案。从源头隔绝低频扰动，依托高性能控制器实现亚纳米级运动管控，达成外部抑振+内部精密运动控制双重保障，一站式解决环境振动干扰、平台抖动、宏微动切换失准等行业难题，满足多领域装备严苛工艺指标，助力高端装备全链路国产化升级。

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CSEAC 展会现场看点

本届无锡CSEAC 展会，格蓝若将现场陈列主动减振平台、精密运动控制器实物样机，并直观演示减振-运动控制协同优化技术效果。现场有专业产品解决方案工程师，可与各位来宾深度开展技术对接，围绕整机配套、联合开发及定制化方案展开充分探讨。

展位号：B3-409

时间：2026 年8月31日9月2日

地点：无锡太湖国际博览中心

除CSEAC 2026 之外，格蓝若还将携主动减振与运动控制全系列产品，亮相第27 届中国国际光电博览会、第26 届中国国际工业博览会，期待在各展会现场与行业同仁相遇交流。

第27届中国国际光电博览会

展位号：3D30

时间：2026年9月9日-9月11日

地点：深圳国际会展中心

第26届中国国际工业博览会

展位号：5.2H-B086

时间：2026年10月12日-10月16日

地点：国家会展中心（上海）

格蓝若精密深耕精密主动减振与运动控制领域，专注核心技术研发，深入洞察客户需求与痛点，打造具备全球竞争力的主流产品技术与解决方案。公司构建起主动减振、精密运动控制、激振/吸振、振动测量感知四大产品体系，致力于成为精密运动控制解决方案提供商。公司相关产品可深度适配半导体制造、精密机床、激光加工、生命科学等高精度、高实时性应用场景，精准把控机械动作与运行轨迹，全方位赋能国产高端装备的自主可控与高质量发展，助力中国制造行“稳”效“精”。