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存储双雄争夺EUV光刻机 以支撑先进DRAM扩产 单家投资上限接近千亿

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《科创板日报》11月10日讯随着先进DRAM供应日趋紧张、市场需求持续增长,韩国“存储双雄”正加紧锁定光刻机供应,以支撑下一代存储芯片量产扩张。

据韩媒援引业内消息人士报道,三星电子与SK海力士正竞相订购ASML的极紫外(EUV)光刻设备,各自投资上限或达到20万亿韩元(约合人民币992亿元)。此前ASML宣布,EUV设备将出现供应短缺,因此锁定设备交付档期已成为扩大先进DRAM产能的关键。

业内人士指出,由于设备交付周期据称已翻倍,两家公司都在考虑提前下单以确保供应,未来或将进一步推高资本支出。

今年3月,SK海力士曾披露一项价值约11.95万亿韩元的EUV设备采购计划,相当于其2024年底总资产的9.97%。该订单计划于2027年12月31日前交付,以支持该公司向1c DRAM的过渡。

三星电子也在积极拓展其先进DRAM产能,该公司正在平泽P4工厂增设HBM4单晶DRAM生产线。同时,公司也在推进P5工厂的建设,该工厂的首座晶圆厂预计将于2028年投产。据报道,三星电子已为P5工厂订购了光刻设备,预计在第一阶段洁净室于2027年上半年完工后,设备即可投入使用。

此外,两家公司都在准备采用更先进的高数值孔径极紫外光刻(High-NA EUV)技术进行下一代DRAM的生产。

据悉,三星电子和SK海力士计划于2027年开始量产1D DRAM,随后于2028年开始小规模生产10nm以下的0a DRAM。高数值孔径极紫外光刻技术预计将在0a阶段引入,最初用于部分层,据报道,三星正在考虑仅在一到两层中使用,以平衡成本和良率。

另一边,EUV设备供应短缺或延续至2028年。ASML在10月发布的财报中警告称,计划中的供应量在2027年和2028年都将无法满足需求,一些客户甚至已经表示有意订购2029年乃至2030年的设备。

目前,该公司正在探索如何扩大其2028年的产能,使其超过此前预期的30%的同比增长目标。据其三季报,存储器供应商贡献了系统收入的46%。ASML表示,核心产品价格上涨的影响将从明年开始显现,预计将在2028年全面显现。

类似的短缺还发生在后端设备领域,包括韩美半导体、Amkor(安靠)等厂商订单积压均已长达两到三年,随着进入最终下单阶段,各公司正扩大AI数据中心相关设备的产能,其中包括用于HBM制造的热压(TC)键合机。

东方财富证券判断,AI投资周期仍处上行阶段,需求有望从算力芯片向存储、制造与设备扩散,存储涨价与设备紧缺有望延续至2027年。

东吴证券指出,半导体设备前道规模效应逐步显现,AI算力建设带动先进逻辑、先进存储及先进封装设备需求,国产设备在客户验证、量产导入和份额提升方面仍有较大空间,看好国产设备商陆续兑现业绩。

(科创板日报 张真)

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