上海
日前，杭州玉之泉精密仪器有限公司（简称：玉之泉）联合浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室，正式推出“万通道3D纳米激光直写光刻机”。这一重磅成果标志着我国在高精度、高通量光刻装置领域迈上新台阶，为高端掩膜版、光子芯片及超表面等半导体与微纳制造关键领域提供了底层技术支撑。
玉之泉成立于2022年12月，是一家致力于解决国家“卡脖子”光刻技术的高端光学精密仪器研发公司。公司总部位于中国杭州，创始股东由在光学研究领域深耕多年的资深科研工作者和企业管理经验丰富的企业家组成。
长期以来，双光子激光直写技术虽具备极高的加工精度，却受困于“单束扫描”的物理极限，难以满足大面积、高效率的产业化需求。面对这一痛点，研发团队创新性地提出“万通道快速独立调控方案”。该设备可瞬间生成1万多个可独立控制的并行激光焦点，并配合智能全局优化算法，将焦点阵列光强均匀度提升至95%以上，彻底打破了传统单束扫描的效能瓶颈。
得益于上述技术突破，该设备展现出卓越性能：其超高打印速率可达每秒2亿体素以上；在特定工艺下，最小特征尺寸可达亚50nm；2D面扫描速率达到40平方毫米/分钟，是传统技术的几十倍，且最大加工幅面可完整覆盖12英寸晶圆。
12英寸晶圆浙江大学logo大面积加工
除了作为光子掩膜版、DOE掩膜版、MEMS掩膜版等高端掩膜微纳制造领域外，该设备还完美契合了诸多偏定制、偏微纳三维结构、偏良率与快速迭代的工艺需求，包括光子芯片与先进封装： 支撑定制化、小批量的高精尖芯片研发；MEMS传感器与微流控器件： 可实现复杂三维微结构的快速成型；精密光学元件： 满足超透镜、DOE器件等光学防伪与光通信领域的严苛要求。
该设备的问世，还为超表面（Metasurface）等前沿领域的规模化量产提供了核心设备支撑。超表面作为未来AR/VR、激光雷达及6G通信的核心元件，传统加工往往耗时数周，而万通道技术可将加工周期大幅压缩至数小时级别。目前，超表面已成为该设备首个落地且具备绝对优势的加工品类，正加速推动相关前沿产业的商业化进程。
来源： 天天IC
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