北京
芯东西（公众号：aichip001）
作者 ZeR0
编辑 漠影
芯东西9月29日报道，证监会官网显示，9月28日，上海半导体设备制造商费勉科技在上海证监局办理上市辅导备案登记，启动A股IPO进程，辅导机构是华泰联合证券。
费勉科技成立于2014年11月，注册资本为6000万元，无控股股东，法定代表人是欧宏炜。
该公司实际控制人为CEO欧宏炜、董事长赵嘉峰、CTO谢斌平，三人均为复旦大学物理学博士。
其中欧宏炜直接持股8.57%，赵嘉峰直接持股8.44%，谢斌平直接持股9.40%；另外通过员工持股平台（上海热离企业管理中心（有限合伙）、上海朗奥企业管理中心（有限合伙））以及股东表决权委托等方式间接控股1.21%，合计控股47.62%。
根据企业信用查询平台企查查，华为旗下哈勃科技、复旦大学旗下复容投资、复旦科创、深创投等均是费勉科技的投资方。
▲费勉科技融资历程（来源：企查查）
公司官网显示，费勉科技拥有科学仪器、等离子、工业量测和半导体薄膜四大产品线，获评国家工信部专精特新“小巨人”等荣誉。
该公司以科学仪器板块为基础，逐步拓展半导体薄膜制备设备、半导体紫外光源产品以及半导体量测设备三大产品系列。
在半导体薄膜产品线，其晶圆级MBE系统、超高真空解理镀膜系统等产品对标国际巨头，已批量交付国内头部半导体企业。
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